MEMS中的簿膜制造技术
MEMS중적부막제조기술
Thin Film Making Technology in MEMS
  • 万方数据
    电子工业专用设备 전자공업전용설비
    EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
    2006年 1期 39-42 ,共4页

    董立军%陈大鹏%欧毅%黄钦文%石莎莉%焦斌斌%李超波%杨清华%叶甜春

    동립군%진대붕%구의%황흠문%석사리%초빈빈%리초파%양청화%협첨춘

    微机电系统%薄膜淀积%PVD%CVD%电镀%物理淀积 微機電繫統%薄膜澱積%PVD%CVD%電鍍%物理澱積
    미궤전계통%박막정적%PVD%CVD%전도%물리정적
    追述了薄膜淀积技术的历史,按照制备手段对MEMS制造中使用的各种薄膜制造技术进行了大致的分类和对比,介绍了相应的理论研究概况,除了电镀技术之外,MEMS技术基本来自传统的IC制造工艺.
    추술료박막정적기술적역사,안조제비수단대MEMS제조중사용적각충박막제조기술진행료대치적분류화대비,개소료상응적이론연구개황,제료전도기술지외,MEMS기술기본래자전통적IC제조공예.
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