实验科学与技术
實驗科學與技術
실험과학여기술
EXPERIMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
z1期
129-131
,共3页
冯术成%杨传仁%陈宏伟%符春林%廖家轩%尹开锯
馮術成%楊傳仁%陳宏偉%符春林%廖傢軒%尹開鋸
풍술성%양전인%진굉위%부춘림%료가헌%윤개거
铁电薄膜%C-V特性测量%四端对接%实验
鐵電薄膜%C-V特性測量%四耑對接%實驗
철전박막%C-V특성측량%사단대접%실험
采用TH2828型LCR测试仪及四端对接测量方法,搭建了铁电薄膜的介电特性测试平台.利用此测试平台对自制钛酸锶钡(简称BST)铁电薄膜材料的C-V特性进行测量,能准确表征铁电薄膜的介电特性.
採用TH2828型LCR測試儀及四耑對接測量方法,搭建瞭鐵電薄膜的介電特性測試平檯.利用此測試平檯對自製鈦痠鍶鋇(簡稱BST)鐵電薄膜材料的C-V特性進行測量,能準確錶徵鐵電薄膜的介電特性.
채용TH2828형LCR측시의급사단대접측량방법,탑건료철전박막적개전특성측시평태.이용차측시평태대자제태산송패(간칭BST)철전박막재료적C-V특성진행측량,능준학표정철전박막적개전특성.
