材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2006年
3期
378-381
,共4页
金属材料%离子束溅射技术%PtRu合金%载体薄膜
金屬材料%離子束濺射技術%PtRu閤金%載體薄膜
금속재료%리자속천사기술%PtRu합금%재체박막
采用离子束溅射技术制备不同Pt/Ru比PtRu合金纳米载体薄膜材料.研究了薄膜中形成PtRu合金的结构特点和组分差异.结果表明该薄膜材料在成膜过程中既有Ru渗入Pt晶格之中又有Pt渗入Ru的晶格之中,属于(Pt)+(Ru)两相区的合金化过程.
採用離子束濺射技術製備不同Pt/Ru比PtRu閤金納米載體薄膜材料.研究瞭薄膜中形成PtRu閤金的結構特點和組分差異.結果錶明該薄膜材料在成膜過程中既有Ru滲入Pt晶格之中又有Pt滲入Ru的晶格之中,屬于(Pt)+(Ru)兩相區的閤金化過程.
채용리자속천사기술제비불동Pt/Ru비PtRu합금납미재체박막재료.연구료박막중형성PtRu합금적결구특점화조분차이.결과표명해박막재료재성막과정중기유Ru삼입Pt정격지중우유Pt삼입Ru적정격지중,속우(Pt)+(Ru)량상구적합금화과정.
