金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2006年
9期
993-997
,共5页
李铸国%俞海良%吴毅雄%三宅正司
李鑄國%俞海良%吳毅雄%三宅正司
리주국%유해량%오의웅%삼택정사
磁控溅射%离子照射%纳米复合膜%硬度
磁控濺射%離子照射%納米複閤膜%硬度
자공천사%리자조사%납미복합막%경도
利用诱导型等离子体辅助双靶磁控溅射法在Si(100)基板表面沉积Cu含量(原子分数)为0-10.0%的Ti-Cu-N膜,研究了Cu含量对薄膜结构及硬度的影响.结果表明,添加少量Cu可极大地提高薄膜硬度.Cu含量为2.0%的Ti-Cu-N薄膜具有超硬特性,硬度HV达到42,约为纯TiN薄膜硬度的2倍.超硬质Ti-Cu-N薄膜为nc-TiN/nc-Cu纳米复合薄膜,具有柱状晶结构.薄膜的超硬特性源于薄膜的纳米复合结构.
利用誘導型等離子體輔助雙靶磁控濺射法在Si(100)基闆錶麵沉積Cu含量(原子分數)為0-10.0%的Ti-Cu-N膜,研究瞭Cu含量對薄膜結構及硬度的影響.結果錶明,添加少量Cu可極大地提高薄膜硬度.Cu含量為2.0%的Ti-Cu-N薄膜具有超硬特性,硬度HV達到42,約為純TiN薄膜硬度的2倍.超硬質Ti-Cu-N薄膜為nc-TiN/nc-Cu納米複閤薄膜,具有柱狀晶結構.薄膜的超硬特性源于薄膜的納米複閤結構.
이용유도형등리자체보조쌍파자공천사법재Si(100)기판표면침적Cu함량(원자분수)위0-10.0%적Ti-Cu-N막,연구료Cu함량대박막결구급경도적영향.결과표명,첨가소량Cu가겁대지제고박막경도.Cu함량위2.0%적Ti-Cu-N박막구유초경특성,경도HV체도42,약위순TiN박막경도적2배.초경질Ti-Cu-N박막위nc-TiN/nc-Cu납미복합박막,구유주상정결구.박막적초경특성원우박막적납미복합결구.
