机械工程与自动化
機械工程與自動化
궤계공정여자동화
MECHANICAL ENGINEERING & AUTOMATION
2008年
1期
122-124
,共3页
张丽娜%张敏刚%杨扬%刘小鹏%衣美卿
張麗娜%張敏剛%楊颺%劉小鵬%衣美卿
장려나%장민강%양양%류소붕%의미경
磁控溅射%离子束溅射%多层膜%热处理%磁性能
磁控濺射%離子束濺射%多層膜%熱處理%磁性能
자공천사%리자속천사%다층막%열처리%자성능
采用磁控和离子束联合溅射法制备了NdFeB/α-Fe/NdFeB系列纳米复合多层膜,研究了热处理温度对薄膜结构、表面形貌和磁性能的影响.
採用磁控和離子束聯閤濺射法製備瞭NdFeB/α-Fe/NdFeB繫列納米複閤多層膜,研究瞭熱處理溫度對薄膜結構、錶麵形貌和磁性能的影響.
채용자공화리자속연합천사법제비료NdFeB/α-Fe/NdFeB계렬납미복합다층막,연구료열처리온도대박막결구、표면형모화자성능적영향.
