传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
2期
39-41,45
,共4页
权哲浩%林玉池%赵美蓉%李光鲜%齐永岳
權哲浩%林玉池%趙美蓉%李光鮮%齊永嶽
권철호%림옥지%조미용%리광선%제영악
压电微动台%有限元分析%尺蠖运动%正交实验法%逐步回归
壓電微動檯%有限元分析%呎蠖運動%正交實驗法%逐步迴歸
압전미동태%유한원분석%척확운동%정교실험법%축보회귀
运用有限元分析方法,建立纳米级步进压电微动台的实体模型并进行了仿真计算,考察了结构参数对步进型压电微动台性能的影响,得到了压电微动台的固有频率和振型.采用正交实验法设计结构参数,分析了不同因素对压电微动台的固有频率和振动幅值的影响,得到了影响二者之比的4个因素的最优设计参数.根据逐步回归分析的方法建立了结构设计参数的数学模型,从而定量地分析各自变量与一阶固有频率之间的关系.
運用有限元分析方法,建立納米級步進壓電微動檯的實體模型併進行瞭倣真計算,攷察瞭結構參數對步進型壓電微動檯性能的影響,得到瞭壓電微動檯的固有頻率和振型.採用正交實驗法設計結構參數,分析瞭不同因素對壓電微動檯的固有頻率和振動幅值的影響,得到瞭影響二者之比的4箇因素的最優設計參數.根據逐步迴歸分析的方法建立瞭結構設計參數的數學模型,從而定量地分析各自變量與一階固有頻率之間的關繫.
운용유한원분석방법,건립납미급보진압전미동태적실체모형병진행료방진계산,고찰료결구삼수대보진형압전미동태성능적영향,득도료압전미동태적고유빈솔화진형.채용정교실험법설계결구삼수,분석료불동인소대압전미동태적고유빈솔화진동폭치적영향,득도료영향이자지비적4개인소적최우설계삼수.근거축보회귀분석적방법건립료결구설계삼수적수학모형,종이정량지분석각자변량여일계고유빈솔지간적관계.
