功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
9期
1466-1469
,共4页
鲁晓莹%刘翠荣%孟庆森%杨振宇%赵亚溥
魯曉瑩%劉翠榮%孟慶森%楊振宇%趙亞溥
로효형%류취영%맹경삼%양진우%조아부
阳极键合%铝%Pyrex玻璃%力学特征%MEMS
暘極鍵閤%鋁%Pyrex玻璃%力學特徵%MEMS
양겁건합%려%Pyrex파리%역학특정%MEMS
采用公共阳极法实现了Pyrex玻璃与铝多层晶片的静电键合,对玻璃/铝/玻璃阳极接舍界面的组织结构及其连接机理和力学特征进行了重点研究.分别利用微拉伸测试设备和ANSYS软件分析了连接区的力学性能和残余应力分布特征.分析认为键合区由玻璃一过渡层一铝组成,过渡层为Al2O3-SiO2复合氧化物.玻璃/铝界面的微观组织和元素分布均以铝为对称轴呈对称分布.在玻璃/铝/玻璃多层连接区,键合界面附近的残余应力和应变呈对称分布,多层结构的对称性有利于缓解接头应变和应力,表明应用公共阳极法可实现多层玻璃/铝/玻璃的良好键合.
採用公共暘極法實現瞭Pyrex玻璃與鋁多層晶片的靜電鍵閤,對玻璃/鋁/玻璃暘極接捨界麵的組織結構及其連接機理和力學特徵進行瞭重點研究.分彆利用微拉伸測試設備和ANSYS軟件分析瞭連接區的力學性能和殘餘應力分佈特徵.分析認為鍵閤區由玻璃一過渡層一鋁組成,過渡層為Al2O3-SiO2複閤氧化物.玻璃/鋁界麵的微觀組織和元素分佈均以鋁為對稱軸呈對稱分佈.在玻璃/鋁/玻璃多層連接區,鍵閤界麵附近的殘餘應力和應變呈對稱分佈,多層結構的對稱性有利于緩解接頭應變和應力,錶明應用公共暘極法可實現多層玻璃/鋁/玻璃的良好鍵閤.
채용공공양겁법실현료Pyrex파리여려다층정편적정전건합,대파리/려/파리양겁접사계면적조직결구급기련접궤리화역학특정진행료중점연구.분별이용미랍신측시설비화ANSYS연건분석료련접구적역학성능화잔여응력분포특정.분석인위건합구유파리일과도층일려조성,과도층위Al2O3-SiO2복합양화물.파리/려계면적미관조직화원소분포균이려위대칭축정대칭분포.재파리/려/파리다층련접구,건합계면부근적잔여응력화응변정대칭분포,다층결구적대칭성유리우완해접두응변화응력,표명응용공공양겁법가실현다층파리/려/파리적량호건합.
