表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2009年
1期
8-10,53
,共4页
非平衡磁控溅射%类金刚石%性能%结构
非平衡磁控濺射%類金剛石%性能%結構
비평형자공천사%류금강석%성능%결구
利用非平衡磁控溅射(UBMS)技术在硅基片上制备了无氢碳膜,并采用Raman光谱、X射线衍射、傅立叶变换光谱等手段对不同靶电流下沉积的薄膜的微观结构、沉积速率、粗糙度、表面接触角及红外透过率进行了研究.试验结果表明:随着靶电流的增大,薄膜的沉积速率增大,薄膜中sp3键含量增加,薄膜表面接触角增大,红外透过率增大;而薄膜的粗糙度随靶电流增加而减小.靶电流是影响非平衡磁控溅射制备无氢碳膜结构与性能的1个主要因素.
利用非平衡磁控濺射(UBMS)技術在硅基片上製備瞭無氫碳膜,併採用Raman光譜、X射線衍射、傅立葉變換光譜等手段對不同靶電流下沉積的薄膜的微觀結構、沉積速率、粗糙度、錶麵接觸角及紅外透過率進行瞭研究.試驗結果錶明:隨著靶電流的增大,薄膜的沉積速率增大,薄膜中sp3鍵含量增加,薄膜錶麵接觸角增大,紅外透過率增大;而薄膜的粗糙度隨靶電流增加而減小.靶電流是影響非平衡磁控濺射製備無氫碳膜結構與性能的1箇主要因素.
이용비평형자공천사(UBMS)기술재규기편상제비료무경탄막,병채용Raman광보、X사선연사、부립협변환광보등수단대불동파전류하침적적박막적미관결구、침적속솔、조조도、표면접촉각급홍외투과솔진행료연구.시험결과표명:수착파전류적증대,박막적침적속솔증대,박막중sp3건함량증가,박막표면접촉각증대,홍외투과솔증대;이박막적조조도수파전류증가이감소.파전류시영향비평형자공천사제비무경탄막결구여성능적1개주요인소.
