中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2009年
9期
1608-1612
,共5页
陈灵%曾德长%邱万奇%董小虹%黎炳雄%黄拿灿
陳靈%曾德長%邱萬奇%董小虹%黎炳雄%黃拿燦
진령%증덕장%구만기%동소홍%려병웅%황나찬
TiAlCrN膜%TiAlCrN/CrN多层膜%电弧镀%硬度%结合性能
TiAlCrN膜%TiAlCrN/CrN多層膜%電弧鍍%硬度%結閤性能
TiAlCrN막%TiAlCrN/CrN다층막%전호도%경도%결합성능
利用离子氮化形成过渡层,通过改变溅射沉积工艺参数,制备了TiAlCrN和TiAlCrN/CrN多层复合膜.采用电子探针(EPMA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪及微米划痕仪等技术表征两种复合膜的成分结构和力学性能.结果表明:两种膜都是面心立方结构,TiAlCrN膜和TiAlCrN/CrN多层膜分别在(111)和(200)面具有一定的择优取向;TiAlCrN膜的结构和成分都比较均匀,而TiAlCrN/CrN多层膜的结构和成分则呈周期性变化.由于离子渗氮层的支撑作用及氮化物外延生长,TiAlCrN/CrN多层膜的显微硬度(3 450 HV)高于TiAlCrN膜的(2 500 HV);两种膜都具有较高的膜基结合力,但TiAlCrN/CrN多层膜的综合力学性能比TiAlCrN膜的更好.
利用離子氮化形成過渡層,通過改變濺射沉積工藝參數,製備瞭TiAlCrN和TiAlCrN/CrN多層複閤膜.採用電子探針(EPMA)、掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射儀(XRD)、納米壓痕儀及微米劃痕儀等技術錶徵兩種複閤膜的成分結構和力學性能.結果錶明:兩種膜都是麵心立方結構,TiAlCrN膜和TiAlCrN/CrN多層膜分彆在(111)和(200)麵具有一定的擇優取嚮;TiAlCrN膜的結構和成分都比較均勻,而TiAlCrN/CrN多層膜的結構和成分則呈週期性變化.由于離子滲氮層的支撐作用及氮化物外延生長,TiAlCrN/CrN多層膜的顯微硬度(3 450 HV)高于TiAlCrN膜的(2 500 HV);兩種膜都具有較高的膜基結閤力,但TiAlCrN/CrN多層膜的綜閤力學性能比TiAlCrN膜的更好.
이용리자담화형성과도층,통과개변천사침적공예삼수,제비료TiAlCrN화TiAlCrN/CrN다층복합막.채용전자탐침(EPMA)、소묘전자현미경(SEM)、X사선연사의(XRD)、납미압흔의급미미화흔의등기술표정량충복합막적성분결구화역학성능.결과표명:량충막도시면심립방결구,TiAlCrN막화TiAlCrN/CrN다층막분별재(111)화(200)면구유일정적택우취향;TiAlCrN막적결구화성분도비교균균,이TiAlCrN/CrN다층막적결구화성분칙정주기성변화.유우리자삼담층적지탱작용급담화물외연생장,TiAlCrN/CrN다층막적현미경도(3 450 HV)고우TiAlCrN막적(2 500 HV);량충막도구유교고적막기결합력,단TiAlCrN/CrN다층막적종합역학성능비TiAlCrN막적경호.
