CAJ | 학술논문

传统的静电加速度计在空间微弱加速度测量方面可以获得极高的分辨率.提出了一种采用静电悬浮、可实现六轴加速度测量的微静电加速度计.敏感组合件采用玻璃-硅-玻璃三层键合结构、体硅加工工艺;检测质量采用"回"字形结构,以提高加速度计的径向量程和刚度.利用有限元软件分析了大气环境下检验质量的气模阻尼特性,对六自由度静电悬浮回路进行了建模与分析,提出了实现六轴加速度检测的控制方案.给出了静电悬浮回路的仿真结果,评估了六轴加速度计的性能.
전통적정전가속도계재공간미약가속도측량방면가이획득겁고적분변솔.제출료일충채용정전현부、가실현륙축가속도측량적미정전가속도계.민감조합건채용파리-규-파리삼층건합결구、체규가공공예;검측질량채용"회"자형결구,이제고가속도계적경향량정화강도.이용유한원연건분석료대기배경하검험질량적기모조니특성,대륙자유도정전현부회로진행료건모여분석,제출료실현륙축가속도검측적공제방안.급출료정전현부회로적방진결과,평고료륙축가속도계적성능.