功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
7期
1205-1207
,共3页
侯捷%张丛春%杨春生%丁桂甫
侯捷%張叢春%楊春生%丁桂甫
후첩%장총춘%양춘생%정계보
射频磁控溅射%MgO%XRD%SEM
射頻磁控濺射%MgO%XRD%SEM
사빈자공천사%MgO%XRD%SEM
采用射频磁控溅射(rf magnetron sputtering)在Si(100)衬底上生长得到MgO薄膜.将在不同气压和Ar分压条件下得到的样品在氧气氛围下1000℃退火并进行X射线衍射(XRD)分析,结果表明,溅射总气压和O2分压影响MgO薄膜的择优取向,控制总气压和Ar分压可以控制MgO薄膜的晶格取向,Si衬底取向也对薄膜的择优取向产生影响.通过扫描电子显微镜(SEM)分析发现,MgO薄膜经过高温退火形成结晶并产生了表面裂纹.
採用射頻磁控濺射(rf magnetron sputtering)在Si(100)襯底上生長得到MgO薄膜.將在不同氣壓和Ar分壓條件下得到的樣品在氧氣氛圍下1000℃退火併進行X射線衍射(XRD)分析,結果錶明,濺射總氣壓和O2分壓影響MgO薄膜的擇優取嚮,控製總氣壓和Ar分壓可以控製MgO薄膜的晶格取嚮,Si襯底取嚮也對薄膜的擇優取嚮產生影響.通過掃描電子顯微鏡(SEM)分析髮現,MgO薄膜經過高溫退火形成結晶併產生瞭錶麵裂紋.
채용사빈자공천사(rf magnetron sputtering)재Si(100)츤저상생장득도MgO박막.장재불동기압화Ar분압조건하득도적양품재양기분위하1000℃퇴화병진행X사선연사(XRD)분석,결과표명,천사총기압화O2분압영향MgO박막적택우취향,공제총기압화Ar분압가이공제MgO박막적정격취향,Si츤저취향야대박막적택우취향산생영향.통과소묘전자현미경(SEM)분석발현,MgO박막경과고온퇴화형성결정병산생료표면렬문.
