贵州科学
貴州科學
귀주과학
GUIZHOU SCIENCE
2011年
1期
74-77
,共4页
杨闯%梁益龙%马亚芹%邵丽娟
楊闖%樑益龍%馬亞芹%邵麗娟
양틈%량익룡%마아근%소려연
磁控溅射%TiAlN%涂层%结构%结合强度
磁控濺射%TiAlN%塗層%結構%結閤彊度
자공천사%TiAlN%도층%결구%결합강도
应用非平衡磁控溅射离子镀在一种新型合金工具钢表面进行TiAlN涂层,采用电子显微镜下观察涂层结构形貌,用压入法和划痕法测量涂层的结合强度.结果表明,涂层的表面组织均匀,当粗糙度0.02<Ra<1.25,TiAlN涂层平均厚度达到4 μm以上,结合强度良好,达到HF1,与传统涂层高速钢相比,在相同条件下进行表面TiAlN涂层,其结合强度、膜厚相近.
應用非平衡磁控濺射離子鍍在一種新型閤金工具鋼錶麵進行TiAlN塗層,採用電子顯微鏡下觀察塗層結構形貌,用壓入法和劃痕法測量塗層的結閤彊度.結果錶明,塗層的錶麵組織均勻,噹粗糙度0.02<Ra<1.25,TiAlN塗層平均厚度達到4 μm以上,結閤彊度良好,達到HF1,與傳統塗層高速鋼相比,在相同條件下進行錶麵TiAlN塗層,其結閤彊度、膜厚相近.
응용비평형자공천사리자도재일충신형합금공구강표면진행TiAlN도층,채용전자현미경하관찰도층결구형모,용압입법화화흔법측량도층적결합강도.결과표명,도층적표면조직균균,당조조도0.02<Ra<1.25,TiAlN도층평균후도체도4 μm이상,결합강도량호,체도HF1,여전통도층고속강상비,재상동조건하진행표면TiAlN도층,기결합강도、막후상근.
