苏州大学学报（自然科学版）
囌州大學學報（自然科學版）
소주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SUZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2011年
3期
46-53
,共8页
徐海朋%张杰%陆文琪%辛煜
徐海朋%張傑%陸文琪%辛煜
서해붕%장걸%륙문기%신욱
容性耦合等离子体%双探针诊断%电子温度%电子密度%自偏压
容性耦閤等離子體%雙探針診斷%電子溫度%電子密度%自偏壓
용성우합등리자체%쌍탐침진단%전자온도%전자밀도%자편압
研究了不同放电参数(功率、气压、频率)下容性耦合氩等离子体中电子温度以及电子密度的变化规律.电子温度和电子密度的测量由双探针诊断获得,而功率电极自偏压则由示波器测量得到.实验结果表明,不同驱动频率下,电子温度随功率上升明显降低直至达到稳定值,而随着驱动频率和气压的上升,电子与周围粒子碰撞加剧,从而导致电子温度降低.低功率时,电子密度呈现出类抛物线增长,高功率时,电子密度则线性增加.随着气压的上升,电子密度呈现先上升后略有下降的趋势.此外,当驱动频率由13.56MHz增加到60MHz时,观察到电子密度与驱动频率的成二次方的依赖关系.自偏压的测量结果表明,自偏压随着放电功率增大而增大,而当气压和驱动频率上升时,自偏压反而降低.
研究瞭不同放電參數(功率、氣壓、頻率)下容性耦閤氬等離子體中電子溫度以及電子密度的變化規律.電子溫度和電子密度的測量由雙探針診斷穫得,而功率電極自偏壓則由示波器測量得到.實驗結果錶明,不同驅動頻率下,電子溫度隨功率上升明顯降低直至達到穩定值,而隨著驅動頻率和氣壓的上升,電子與週圍粒子踫撞加劇,從而導緻電子溫度降低.低功率時,電子密度呈現齣類拋物線增長,高功率時,電子密度則線性增加.隨著氣壓的上升,電子密度呈現先上升後略有下降的趨勢.此外,噹驅動頻率由13.56MHz增加到60MHz時,觀察到電子密度與驅動頻率的成二次方的依賴關繫.自偏壓的測量結果錶明,自偏壓隨著放電功率增大而增大,而噹氣壓和驅動頻率上升時,自偏壓反而降低.
연구료불동방전삼수(공솔、기압、빈솔)하용성우합아등리자체중전자온도이급전자밀도적변화규률.전자온도화전자밀도적측량유쌍탐침진단획득,이공솔전겁자편압칙유시파기측량득도.실험결과표명,불동구동빈솔하,전자온도수공솔상승명현강저직지체도은정치,이수착구동빈솔화기압적상승,전자여주위입자팽당가극,종이도치전자온도강저.저공솔시,전자밀도정현출류포물선증장,고공솔시,전자밀도칙선성증가.수착기압적상승,전자밀도정현선상승후략유하강적추세.차외,당구동빈솔유13.56MHz증가도60MHz시,관찰도전자밀도여구동빈솔적성이차방적의뢰관계.자편압적측량결과표명,자편압수착방전공솔증대이증대,이당기압화구동빈솔상승시,자편압반이강저.
