稀有金属快报
稀有金屬快報
희유금속쾌보
Rare Metals Letters
2006年
7期
18-21
,共4页
曹伟产%卢正欣%麻西群%井晓天
曹偉產%盧正訢%痳西群%井曉天
조위산%로정흔%마서군%정효천
TiNi合金薄膜%磁控溅射%组织形貌%马氏体相变
TiNi閤金薄膜%磁控濺射%組織形貌%馬氏體相變
TiNi합금박막%자공천사%조직형모%마씨체상변
采用磁控溅射法制备TiNi非晶薄膜.通过X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)等方法研究了TiNi合金薄膜的组织形貌、电子衍射花样,并对其相变过程进行了动态观察.结果表明:态薄膜为非晶态,对其在515℃进行1 h的晶化处理后,薄膜中析出了TiNi3相;晶化处理后的TiNi合金薄膜加热到100℃时,薄膜中R相和马氏体相以切变方式完全转变为奥氏体;当冷却至室温时,是以R相、马氏体相以及少量的奥氏体相存在.其加热过程中的相变顺序为:马氏体相→R相→奥氏体相.冷却过程中的相变顺序为:奥氏体相→R相→马氏体相.
採用磁控濺射法製備TiNi非晶薄膜.通過X射線衍射(XRD)、透射電子顯微鏡(TEM)等方法研究瞭TiNi閤金薄膜的組織形貌、電子衍射花樣,併對其相變過程進行瞭動態觀察.結果錶明:態薄膜為非晶態,對其在515℃進行1 h的晶化處理後,薄膜中析齣瞭TiNi3相;晶化處理後的TiNi閤金薄膜加熱到100℃時,薄膜中R相和馬氏體相以切變方式完全轉變為奧氏體;噹冷卻至室溫時,是以R相、馬氏體相以及少量的奧氏體相存在.其加熱過程中的相變順序為:馬氏體相→R相→奧氏體相.冷卻過程中的相變順序為:奧氏體相→R相→馬氏體相.
채용자공천사법제비TiNi비정박막.통과X사선연사(XRD)、투사전자현미경(TEM)등방법연구료TiNi합금박막적조직형모、전자연사화양,병대기상변과정진행료동태관찰.결과표명:태박막위비정태,대기재515℃진행1 h적정화처리후,박막중석출료TiNi3상;정화처리후적TiNi합금박막가열도100℃시,박막중R상화마씨체상이절변방식완전전변위오씨체;당냉각지실온시,시이R상、마씨체상이급소량적오씨체상존재.기가열과정중적상변순서위:마씨체상→R상→오씨체상.냉각과정중적상변순서위:오씨체상→R상→마씨체상.
