测试技术学报
測試技術學報
측시기술학보
JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
2002年
z2期
947-952
,共6页
闫桂珍%Philip C.H.Chan%Johnny K.O.Sin%I-Ming Hsing
閆桂珍%Philip C.H.Chan%Johnny K.O.Sin%I-Ming Hsing
염계진%Philip C.H.Chan%Johnny K.O.Sin%I-Ming Hsing
微机械%气体传感器%稳定性%SnO2%龟裂
微機械%氣體傳感器%穩定性%SnO2%龜裂
미궤계%기체전감기%은정성%SnO2%구렬
本文报导了一种解决氧化锡气体敏感膜龟裂问题的有效方法.实验中发现,溅射形成的氧化锡薄膜在高温处理后或在长时间的高温工作中会发生龟裂,对器件的稳定性和可靠性带来很大影响.我们用两种方法解决了这个问题.一个是用磷硅玻璃(PSG)回流对氧化锡衬底的粗糙表面进行平坦化处理,另一个是把氧化锡薄膜图形设计成许多细长条状,以释放高温引起的应力变化.这种技术也适用于其它薄膜产生的微裂问题.
本文報導瞭一種解決氧化錫氣體敏感膜龜裂問題的有效方法.實驗中髮現,濺射形成的氧化錫薄膜在高溫處理後或在長時間的高溫工作中會髮生龜裂,對器件的穩定性和可靠性帶來很大影響.我們用兩種方法解決瞭這箇問題.一箇是用燐硅玻璃(PSG)迴流對氧化錫襯底的粗糙錶麵進行平坦化處理,另一箇是把氧化錫薄膜圖形設計成許多細長條狀,以釋放高溫引起的應力變化.這種技術也適用于其它薄膜產生的微裂問題.
본문보도료일충해결양화석기체민감막구렬문제적유효방법.실험중발현,천사형성적양화석박막재고온처리후혹재장시간적고온공작중회발생구렬,대기건적은정성화가고성대래흔대영향.아문용량충방법해결료저개문제.일개시용린규파리(PSG)회류대양화석츤저적조조표면진행평탄화처리,령일개시파양화석박막도형설계성허다세장조상,이석방고온인기적응력변화.저충기술야괄용우기타박막산생적미렬문제.
