测试技术学报
測試技術學報
측시기술학보
JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
2006年
5期
435-438
,共4页
砷化镓%单轴应力%光致发光%蓝移%峰裂
砷化鎵%單軸應力%光緻髮光%藍移%峰裂
신화가%단축응력%광치발광%람이%봉렬
研究了一种GaAs层结构在[110]方向外部单轴应力下基于光致发光(PL)谱的测试方法.层结构的应力由螺旋测微器施加,可以产生平面内的压(拉)应力和应变,大小可以由胡克定律算出.随着应力的增大,观察到了谱峰明显的蓝移.在一系列的加压后,在 1.432 eV,有一个新的峰出现在原有的峰的肩部附近,随着压力增加,两个峰逐渐分开.同时 PL 峰的半峰宽随着应力增加而逐渐加大.最后,本文根据实验结果分析了静水和单轴应力的不同.
研究瞭一種GaAs層結構在[110]方嚮外部單軸應力下基于光緻髮光(PL)譜的測試方法.層結構的應力由螺鏇測微器施加,可以產生平麵內的壓(拉)應力和應變,大小可以由鬍剋定律算齣.隨著應力的增大,觀察到瞭譜峰明顯的藍移.在一繫列的加壓後,在 1.432 eV,有一箇新的峰齣現在原有的峰的肩部附近,隨著壓力增加,兩箇峰逐漸分開.同時 PL 峰的半峰寬隨著應力增加而逐漸加大.最後,本文根據實驗結果分析瞭靜水和單軸應力的不同.
연구료일충GaAs층결구재[110]방향외부단축응력하기우광치발광(PL)보적측시방법.층결구적응력유라선측미기시가,가이산생평면내적압(랍)응력화응변,대소가이유호극정률산출.수착응력적증대,관찰도료보봉명현적람이.재일계렬적가압후,재 1.432 eV,유일개신적봉출현재원유적봉적견부부근,수착압력증가,량개봉축점분개.동시 PL 봉적반봉관수착응력증가이축점가대.최후,본문근거실험결과분석료정수화단축응력적불동.
