传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
2期
357-360
,共4页
谭宜勇%卢桂章%赵新%王磊
譚宜勇%盧桂章%趙新%王磊
담의용%로계장%조신%왕뢰
MEMS%IP库%虚拟工艺%虚拟运行
MEMS%IP庫%虛擬工藝%虛擬運行
MEMS%IP고%허의공예%허의운행
针对MEMS设计系统中机械性能仿真不足、设计与加工脱节、缺少工艺验证等问题,借鉴了IC设计可重用思想,引入了具有知识产权的功能模块--IP的概念,提出了基于IP库的MEMS设计方法.该方法是Top-Down和Bottom-Up设计相结合的方法,其核心是MEMS IP库,关键技术包括IP库、虚拟工艺、虚拟运行等,分别对应IP管理、工艺级仿真系统以及器件行为级仿真系统.最后以电容式微加速度计设计为例,对双梁、四梁、疏齿等6种不同的结构分别进行了设计仿真、流水加工,封装和测试的过程,完成了器件从设计到成品的整个流程,验证了本文提出的设计方法和设计系统的有效性和正确性.
針對MEMS設計繫統中機械性能倣真不足、設計與加工脫節、缺少工藝驗證等問題,藉鑒瞭IC設計可重用思想,引入瞭具有知識產權的功能模塊--IP的概唸,提齣瞭基于IP庫的MEMS設計方法.該方法是Top-Down和Bottom-Up設計相結閤的方法,其覈心是MEMS IP庫,關鍵技術包括IP庫、虛擬工藝、虛擬運行等,分彆對應IP管理、工藝級倣真繫統以及器件行為級倣真繫統.最後以電容式微加速度計設計為例,對雙樑、四樑、疏齒等6種不同的結構分彆進行瞭設計倣真、流水加工,封裝和測試的過程,完成瞭器件從設計到成品的整箇流程,驗證瞭本文提齣的設計方法和設計繫統的有效性和正確性.
침대MEMS설계계통중궤계성능방진불족、설계여가공탈절、결소공예험증등문제,차감료IC설계가중용사상,인입료구유지식산권적공능모괴--IP적개념,제출료기우IP고적MEMS설계방법.해방법시Top-Down화Bottom-Up설계상결합적방법,기핵심시MEMS IP고,관건기술포괄IP고、허의공예、허의운행등,분별대응IP관리、공예급방진계통이급기건행위급방진계통.최후이전용식미가속도계설계위례,대쌍량、사량、소치등6충불동적결구분별진행료설계방진、류수가공,봉장화측시적과정,완성료기건종설계도성품적정개류정,험증료본문제출적설계방법화설계계통적유효성화정학성.
