材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
2008年
2期
18-22
,共5页
Al2O3薄膜%结焦%金属有机化学气相沉积%裂解炉%HP40钢
Al2O3薄膜%結焦%金屬有機化學氣相沉積%裂解爐%HP40鋼
Al2O3박막%결초%금속유궤화학기상침적%렬해로%HP40강
以仲丁醇铝(ATSB)为前驱物、氮气为载气,用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在HP40钢表面沉积了Al2O3薄膜.采用光学金相显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)等仪器设备,研究了Al2O3薄膜组织结构及其抑制结焦的能力.实验结果表明,当沉积温度为350℃,以ATSB为前驱物在HP40钢表面制备了纳米晶Al2O3薄膜,该薄膜具有表面平整、均匀、致密的特点,且具有明显抑制结焦作用,结焦抑制率达到52.4%以上.
以仲丁醇鋁(ATSB)為前驅物、氮氣為載氣,用金屬有機化學氣相沉積法(MOCVD)在HP40鋼錶麵沉積瞭Al2O3薄膜.採用光學金相顯微鏡(OM)、掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射儀(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)等儀器設備,研究瞭Al2O3薄膜組織結構及其抑製結焦的能力.實驗結果錶明,噹沉積溫度為350℃,以ATSB為前驅物在HP40鋼錶麵製備瞭納米晶Al2O3薄膜,該薄膜具有錶麵平整、均勻、緻密的特點,且具有明顯抑製結焦作用,結焦抑製率達到52.4%以上.
이중정순려(ATSB)위전구물、담기위재기,용금속유궤화학기상침적법(MOCVD)재HP40강표면침적료Al2O3박막.채용광학금상현미경(OM)、소묘전자현미경(SEM)、X사선연사의(XRD)、원자력현미경(AFM)등의기설비,연구료Al2O3박막조직결구급기억제결초적능력.실험결과표명,당침적온도위350℃,이ATSB위전구물재HP40강표면제비료납미정Al2O3박막,해박막구유표면평정、균균、치밀적특점,차구유명현억제결초작용,결초억제솔체도52.4%이상.
