中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2007年
9期
1297-1302
,共6页
王新林%戴能利%李玉华%廖常锐%杨光%郑启光%陆培祥
王新林%戴能利%李玉華%廖常銳%楊光%鄭啟光%陸培祥
왕신림%대능리%리옥화%료상예%양광%정계광%륙배상
激光技术%飞秒激光烧蚀%金属玻璃%无晶化
激光技術%飛秒激光燒蝕%金屬玻璃%無晶化
격광기술%비초격광소식%금속파리%무정화
采用飞秒激光对Zr基金属玻璃在空气中进行了表面烧蚀、微打孔与微细切割等过程的研究.通过扫描电镜(SEM)、能量弥散X射线(EDX)能谱分析与透射电镜(TEM)及电子衍射等方法,分析了飞秒激光烧蚀金属玻璃的表面形貌与加工区域发生的相关效应.实验与分析表明加工区域周围无熔融和液滴溅射现象,热影响区极小,并且无晶化现象发生,但飞秒激光微细加工金属玻璃时存在极薄的表面氧化现象.研究结果表明,在适当选择参数的条件下,飞秒激光烧蚀是一种极有前途的金属玻璃无晶化微细加工方法.
採用飛秒激光對Zr基金屬玻璃在空氣中進行瞭錶麵燒蝕、微打孔與微細切割等過程的研究.通過掃描電鏡(SEM)、能量瀰散X射線(EDX)能譜分析與透射電鏡(TEM)及電子衍射等方法,分析瞭飛秒激光燒蝕金屬玻璃的錶麵形貌與加工區域髮生的相關效應.實驗與分析錶明加工區域週圍無鎔融和液滴濺射現象,熱影響區極小,併且無晶化現象髮生,但飛秒激光微細加工金屬玻璃時存在極薄的錶麵氧化現象.研究結果錶明,在適噹選擇參數的條件下,飛秒激光燒蝕是一種極有前途的金屬玻璃無晶化微細加工方法.
채용비초격광대Zr기금속파리재공기중진행료표면소식、미타공여미세절할등과정적연구.통과소묘전경(SEM)、능량미산X사선(EDX)능보분석여투사전경(TEM)급전자연사등방법,분석료비초격광소식금속파리적표면형모여가공구역발생적상관효응.실험여분석표명가공구역주위무용융화액적천사현상,열영향구겁소,병차무정화현상발생,단비초격광미세가공금속파리시존재겁박적표면양화현상.연구결과표명,재괄당선택삼수적조건하,비초격광소식시일충겁유전도적금속파리무정화미세가공방법.
