有色金属加工
有色金屬加工
유색금속가공
NONFERROUS METALS PROCESSING
2008年
4期
36-39
,共4页
张育生%ZHAO Kun-yu%李智东
張育生%ZHAO Kun-yu%李智東
장육생%ZHAO Kun-yu%리지동
热电材料%热电薄膜%旋涂法%雾化法
熱電材料%熱電薄膜%鏇塗法%霧化法
열전재료%열전박막%선도법%무화법
本次实验制备了不同的前驱液,分别利用旋涂法及超声雾化法成功地在SiO2/Si衬底上生长出了Ca3Co4O9热电薄膜.利用XRD检测技术对薄膜样品进行了物相分析,用金相显微分析技术分析了薄膜的表观相貌.实验结果表明,在SiO2/Si衬底生长出的Ca3Co4O9薄膜具有一定的择优取向,雾化法制备的薄膜样品具有较好的表观质量.
本次實驗製備瞭不同的前驅液,分彆利用鏇塗法及超聲霧化法成功地在SiO2/Si襯底上生長齣瞭Ca3Co4O9熱電薄膜.利用XRD檢測技術對薄膜樣品進行瞭物相分析,用金相顯微分析技術分析瞭薄膜的錶觀相貌.實驗結果錶明,在SiO2/Si襯底生長齣的Ca3Co4O9薄膜具有一定的擇優取嚮,霧化法製備的薄膜樣品具有較好的錶觀質量.
본차실험제비료불동적전구액,분별이용선도법급초성무화법성공지재SiO2/Si츤저상생장출료Ca3Co4O9열전박막.이용XRD검측기술대박막양품진행료물상분석,용금상현미분석기술분석료박막적표관상모.실험결과표명,재SiO2/Si츤저생장출적Ca3Co4O9박막구유일정적택우취향,무화법제비적박막양품구유교호적표관질량.