硬质合金
硬質閤金
경질합금
CEMENTED CARBIDE
2010年
1期
33-36
,共4页
高广睿%杜继红%李争显%陈绍楷
高廣睿%杜繼紅%李爭顯%陳紹楷
고엄예%두계홍%리쟁현%진소해
化学气相沉积%钨涂层%择优取向
化學氣相沉積%鎢塗層%擇優取嚮
화학기상침적%오도층%택우취향
采用化学气相沉积方法在钼基体上制备了具有[110]择优取向的W涂层,采用SEM、XBD、EBSD方法分析了涂层性能,研究表明涂层致密,法向偏离[110]晶向8°范围的晶粒占涂层面积的比例为85.32%,10°范围内[110]晶粒占全部面积的96.86%,[110]择优取向的生成受气体流量H3/CI2,反应室压强及沉积温度的影响;对截面织构研究表明涂层形成机制为竞争生长机制.在室温～1 400℃～室温20次热循环后涂层界面存在互扩散形成的孔洞,但是涂层结合良好.
採用化學氣相沉積方法在鉬基體上製備瞭具有[110]擇優取嚮的W塗層,採用SEM、XBD、EBSD方法分析瞭塗層性能,研究錶明塗層緻密,法嚮偏離[110]晶嚮8°範圍的晶粒佔塗層麵積的比例為85.32%,10°範圍內[110]晶粒佔全部麵積的96.86%,[110]擇優取嚮的生成受氣體流量H3/CI2,反應室壓彊及沉積溫度的影響;對截麵織構研究錶明塗層形成機製為競爭生長機製.在室溫～1 400℃～室溫20次熱循環後塗層界麵存在互擴散形成的孔洞,但是塗層結閤良好.
채용화학기상침적방법재목기체상제비료구유[110]택우취향적W도층,채용SEM、XBD、EBSD방법분석료도층성능,연구표명도층치밀,법향편리[110]정향8°범위적정립점도층면적적비례위85.32%,10°범위내[110]정립점전부면적적96.86%,[110]택우취향적생성수기체류량H3/CI2,반응실압강급침적온도적영향;대절면직구연구표명도층형성궤제위경쟁생장궤제.재실온～1 400℃～실온20차열순배후도층계면존재호확산형성적공동,단시도층결합량호.
