光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2001年
8期
1001-1003
,共3页
抗反射%亚波长结构%二元光学
抗反射%亞波長結構%二元光學
항반사%아파장결구%이원광학
运用等效媒质理论对亚波长结构的抗反射表面进行了分析,设计出了一种抗反射表面结构,并利用二元光学制作工艺技术,对这种表面进行了实验制备.测试结果表明,这种表面结构就像单层抗反射膜一样,具有很好的增透效果,表面结构的等效折射率相当于镀层材料折射率,而刻蚀深度则相当于镀层的四分之一波长厚度.
運用等效媒質理論對亞波長結構的抗反射錶麵進行瞭分析,設計齣瞭一種抗反射錶麵結構,併利用二元光學製作工藝技術,對這種錶麵進行瞭實驗製備.測試結果錶明,這種錶麵結構就像單層抗反射膜一樣,具有很好的增透效果,錶麵結構的等效摺射率相噹于鍍層材料摺射率,而刻蝕深度則相噹于鍍層的四分之一波長厚度.
운용등효매질이론대아파장결구적항반사표면진행료분석,설계출료일충항반사표면결구,병이용이원광학제작공예기술,대저충표면진행료실험제비.측시결과표명,저충표면결구취상단층항반사막일양,구유흔호적증투효과,표면결구적등효절사솔상당우도층재료절사솔,이각식심도칙상당우도층적사분지일파장후도.
