物理学报
物理學報
물이학보
2006年
7期
3748-3755
,共8页
王静%刘贵昌%汲大鹏%徐军%邓新禄
王靜%劉貴昌%伋大鵬%徐軍%鄧新祿
왕정%류귀창%급대붕%서군%산신록
铜基体%类金刚石膜%过渡层%拉曼光谱
銅基體%類金剛石膜%過渡層%拉曼光譜
동기체%류금강석막%과도층%랍만광보
将等离子增强非平衡磁控溅射物理气相沉积(PEUMS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(MW-ECRPECVD)技术相结合,通过制备不同的过渡层,在铜基上成功地制备了类金刚石膜.拉曼光谱分析表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石结构特征.检测结果表明,随着沉积偏压的增大,D峰和G峰均向高波数漂移,ID/IG值增大,表面粗糙度减小,而平均硬度和弹性模量呈先增大后减小的趋势.
將等離子增彊非平衡磁控濺射物理氣相沉積(PEUMS-PVD)和電子迴鏇共振-微波等離子體增彊化學氣相沉積(MW-ECRPECVD)技術相結閤,通過製備不同的過渡層,在銅基上成功地製備瞭類金剛石膜.拉曼光譜分析錶明,所製備的碳膜具有典型的類金剛石結構特徵.檢測結果錶明,隨著沉積偏壓的增大,D峰和G峰均嚮高波數漂移,ID/IG值增大,錶麵粗糙度減小,而平均硬度和彈性模量呈先增大後減小的趨勢.
장등리자증강비평형자공천사물리기상침적(PEUMS-PVD)화전자회선공진-미파등리자체증강화학기상침적(MW-ECRPECVD)기술상결합,통과제비불동적과도층,재동기상성공지제비료류금강석막.랍만광보분석표명,소제비적탄막구유전형적류금강석결구특정.검측결과표명,수착침적편압적증대,D봉화G봉균향고파수표이,ID/IG치증대,표면조조도감소,이평균경도화탄성모량정선증대후감소적추세.
