电子产品世界
電子產品世界
전자산품세계
ELECTRONIC & DESIGN WORLD
2008年
2期
52-56
,共5页
MEMS%单岛膜结构%数学模型%轮胎压力
MEMS%單島膜結構%數學模型%輪胎壓力
MEMS%단도막결구%수학모형%륜태압력
运用硅平面工艺和MEMS微机械加工工艺技术,设计采用了单岛膜结构及其数学模型,开发汽车轮胎压力监测专用传感器IC芯片,用于TPMS系统;本文提出了汽车轮胎压力传感器芯片新的设计数学模型、方法和结构,测试分析其参数性能指标,经过结构转化及应用研究表明拓展功能和应用范围的必要性和可行性.
運用硅平麵工藝和MEMS微機械加工工藝技術,設計採用瞭單島膜結構及其數學模型,開髮汽車輪胎壓力鑑測專用傳感器IC芯片,用于TPMS繫統;本文提齣瞭汽車輪胎壓力傳感器芯片新的設計數學模型、方法和結構,測試分析其參數性能指標,經過結構轉化及應用研究錶明拓展功能和應用範圍的必要性和可行性.
운용규평면공예화MEMS미궤계가공공예기술,설계채용료단도막결구급기수학모형,개발기차륜태압력감측전용전감기IC심편,용우TPMS계통;본문제출료기차륜태압력전감기심편신적설계수학모형、방법화결구,측시분석기삼수성능지표,경과결구전화급응용연구표명탁전공능화응용범위적필요성화가행성.
