辽宁大学学报（自然科学版）
遼寧大學學報（自然科學版）
료녕대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF LIAONING UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2009年
1期
6-8
,共3页
谭天亚%陈俊杰%单晶%江雪%吴炜%郭永新
譚天亞%陳俊傑%單晶%江雪%吳煒%郭永新
담천아%진준걸%단정%강설%오위%곽영신
ZnO薄膜%光致发光%Zn缺陷
ZnO薄膜%光緻髮光%Zn缺陷
ZnO박막%광치발광%Zn결함
采用射频磁控溅射方法在熔石英玻璃衬底上制备了ZnO薄膜.薄膜的X射线衍射(XRD)分析表明样品具有较好的结晶性和良好的c轴取向.光致发光(PL)性能分析发现,分别在398 nm和470 nm波长出现了较强的发光峰,与ZnO薄膜通常的发光峰位置明显不同.通过分析表明,398 nm波长的发光峰是由于导带电子跃迁到Zn空位引起,470 nm波长的发光峰是由于间隙Zn电子跃迁到Zn空位上而产生.
採用射頻磁控濺射方法在鎔石英玻璃襯底上製備瞭ZnO薄膜.薄膜的X射線衍射(XRD)分析錶明樣品具有較好的結晶性和良好的c軸取嚮.光緻髮光(PL)性能分析髮現,分彆在398 nm和470 nm波長齣現瞭較彊的髮光峰,與ZnO薄膜通常的髮光峰位置明顯不同.通過分析錶明,398 nm波長的髮光峰是由于導帶電子躍遷到Zn空位引起,470 nm波長的髮光峰是由于間隙Zn電子躍遷到Zn空位上而產生.
채용사빈자공천사방법재용석영파리츤저상제비료ZnO박막.박막적X사선연사(XRD)분석표명양품구유교호적결정성화량호적c축취향.광치발광(PL)성능분석발현,분별재398 nm화470 nm파장출현료교강적발광봉,여ZnO박막통상적발광봉위치명현불동.통과분석표명,398 nm파장적발광봉시유우도대전자약천도Zn공위인기,470 nm파장적발광봉시유우간극Zn전자약천도Zn공위상이산생.
