传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
8期
68-70
,共3页
溶胶-凝胶法%SnO2薄膜%乙醇气氛%反射率
溶膠-凝膠法%SnO2薄膜%乙醇氣氛%反射率
용효-응효법%SnO2박막%을순기분%반사솔
采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备掺钛SnO2薄膜,对不同掺杂浓度的薄膜进行XRD测试.在常温下对膜片在乙醇气氛中进行气敏光学特性测试.结果表明:掺钛薄膜在常温下对测试气体的反应时间比其他掺杂薄膜明显缩短,并且薄膜的灵敏度与掺杂浓度有关,10%掺钛SnO2薄膜的灵敏度在1800～2500nm波长范围保持在15%左右.
採用溶膠-凝膠法在玻璃基片上製備摻鈦SnO2薄膜,對不同摻雜濃度的薄膜進行XRD測試.在常溫下對膜片在乙醇氣氛中進行氣敏光學特性測試.結果錶明:摻鈦薄膜在常溫下對測試氣體的反應時間比其他摻雜薄膜明顯縮短,併且薄膜的靈敏度與摻雜濃度有關,10%摻鈦SnO2薄膜的靈敏度在1800～2500nm波長範圍保持在15%左右.
채용용효-응효법재파리기편상제비참태SnO2박막,대불동참잡농도적박막진행XRD측시.재상온하대막편재을순기분중진행기민광학특성측시.결과표명:참태박막재상온하대측시기체적반응시간비기타참잡박막명현축단,병차박막적령민도여참잡농도유관,10%참태SnO2박막적령민도재1800～2500nm파장범위보지재15%좌우.
