中国工程科学
中國工程科學
중국공정과학
ENGINEERING SCIENCE
2012年
10期
82-89
,共8页
黄亦申%许雪峰%姚春燕%胡建德%彭伟
黃亦申%許雪峰%姚春燕%鬍建德%彭偉
황역신%허설봉%요춘연%호건덕%팽위
化学机械抛光%抛光液%复合磨粒%聚电解质%铜片
化學機械拋光%拋光液%複閤磨粒%聚電解質%銅片
화학궤계포광%포광액%복합마립%취전해질%동편
研究苯代三聚氰胺甲醛(BGF)微球与阳离子型聚电解质聚二烯丙基二甲基氯化铵(PDADMAC)、阴离子型聚电解质聚4-苯乙烯璜酸钠(PSS)之间的吸附特性,利用静电自组装技术改变和控制BGF微球的荷电特性,制备出不同形式的PEi-BGF/SiO2复合磨粒,以Zeta电位、透射电子显微镜(TEM)和热重分析(TG)等手段对复合磨粒进行了表征,并利用这些复合磨粒制备了铜片抛光用的复合磨粒抛光液.抛光试验表明,吸附在聚合物微球表面和游离于抛光液中的SiO2磨粒在抛光中均起到材料去除作用.传统单一SiO2磨粒抛光液的铜材料去除率为264 nm/min,PEo-BGF/SiO2混合磨粒抛光液的铜材料去除率为348 nm/min,PE3-BGF/SiO2复合磨粒抛光液的铜材料去除率为476 nm/min.经上述3种抛光液抛光后的铜表面,在5μm ×5 μm范围内,表面粗糙度Ra从0.166 μm分别降至3.7 nm、2.6 nm和1.5 nm,峰谷值Rpv分别小于20 nm、14 nm和10 nm,复合磨粒抛光液对铜片有良好的抛光性能.
研究苯代三聚氰胺甲醛(BGF)微毬與暘離子型聚電解質聚二烯丙基二甲基氯化銨(PDADMAC)、陰離子型聚電解質聚4-苯乙烯璜痠鈉(PSS)之間的吸附特性,利用靜電自組裝技術改變和控製BGF微毬的荷電特性,製備齣不同形式的PEi-BGF/SiO2複閤磨粒,以Zeta電位、透射電子顯微鏡(TEM)和熱重分析(TG)等手段對複閤磨粒進行瞭錶徵,併利用這些複閤磨粒製備瞭銅片拋光用的複閤磨粒拋光液.拋光試驗錶明,吸附在聚閤物微毬錶麵和遊離于拋光液中的SiO2磨粒在拋光中均起到材料去除作用.傳統單一SiO2磨粒拋光液的銅材料去除率為264 nm/min,PEo-BGF/SiO2混閤磨粒拋光液的銅材料去除率為348 nm/min,PE3-BGF/SiO2複閤磨粒拋光液的銅材料去除率為476 nm/min.經上述3種拋光液拋光後的銅錶麵,在5μm ×5 μm範圍內,錶麵粗糙度Ra從0.166 μm分彆降至3.7 nm、2.6 nm和1.5 nm,峰穀值Rpv分彆小于20 nm、14 nm和10 nm,複閤磨粒拋光液對銅片有良好的拋光性能.
연구분대삼취청알갑철(BGF)미구여양리자형취전해질취이희병기이갑기록화안(PDADMAC)、음리자형취전해질취4-분을희황산납(PSS)지간적흡부특성,이용정전자조장기술개변화공제BGF미구적하전특성,제비출불동형식적PEi-BGF/SiO2복합마립,이Zeta전위、투사전자현미경(TEM)화열중분석(TG)등수단대복합마립진행료표정,병이용저사복합마립제비료동편포광용적복합마립포광액.포광시험표명,흡부재취합물미구표면화유리우포광액중적SiO2마립재포광중균기도재료거제작용.전통단일SiO2마립포광액적동재료거제솔위264 nm/min,PEo-BGF/SiO2혼합마립포광액적동재료거제솔위348 nm/min,PE3-BGF/SiO2복합마립포광액적동재료거제솔위476 nm/min.경상술3충포광액포광후적동표면,재5μm ×5 μm범위내,표면조조도Ra종0.166 μm분별강지3.7 nm、2.6 nm화1.5 nm,봉곡치Rpv분별소우20 nm、14 nm화10 nm,복합마립포광액대동편유량호적포광성능.
