机械强度
機械彊度
궤계강도
JOURNAL OF MECHANICAL STRENGTH
2004年
2期
149-153
,共5页
高量程微机械加速度计%灌封%有限元分析
高量程微機械加速度計%灌封%有限元分析
고량정미궤계가속도계%관봉%유한원분석
灌封是高量程微机械加速度计实用化的一个关键步骤.文中根据自制的一种压阻式高量程micro-electro-mechanical system(MEMS)加速度计芯片及一种实用的封装结构,对其有限元模型进行模态分析和高g值加速度载荷下的响应分析.封装结构的模态频率随着灌封胶弹性模量的增大而增大.但弹性模量过小时,模态频率反而比未灌封时低,可能会干扰输出信号.对器件加载10万g加速度表明,器件的模拟输出电压值随着灌封胶弹性模量或密度的增加而缓慢减小.模拟输出电压值与解析解很接近.封装之后传感器的模拟输出电压与加速度载荷具有良好的线性关系.
灌封是高量程微機械加速度計實用化的一箇關鍵步驟.文中根據自製的一種壓阻式高量程micro-electro-mechanical system(MEMS)加速度計芯片及一種實用的封裝結構,對其有限元模型進行模態分析和高g值加速度載荷下的響應分析.封裝結構的模態頻率隨著灌封膠彈性模量的增大而增大.但彈性模量過小時,模態頻率反而比未灌封時低,可能會榦擾輸齣信號.對器件加載10萬g加速度錶明,器件的模擬輸齣電壓值隨著灌封膠彈性模量或密度的增加而緩慢減小.模擬輸齣電壓值與解析解很接近.封裝之後傳感器的模擬輸齣電壓與加速度載荷具有良好的線性關繫.
관봉시고량정미궤계가속도계실용화적일개관건보취.문중근거자제적일충압조식고량정micro-electro-mechanical system(MEMS)가속도계심편급일충실용적봉장결구,대기유한원모형진행모태분석화고g치가속도재하하적향응분석.봉장결구적모태빈솔수착관봉효탄성모량적증대이증대.단탄성모량과소시,모태빈솔반이비미관봉시저,가능회간우수출신호.대기건가재10만g가속도표명,기건적모의수출전압치수착관봉효탄성모량혹밀도적증가이완만감소.모의수출전압치여해석해흔접근.봉장지후전감기적모의수출전압여가속도재하구유량호적선성관계.
