中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2008年
8期
1161-1164
,共4页
余本海%Li Yuhua%戴能利%Zheng Qiguang%陆培祥
餘本海%Li Yuhua%戴能利%Zheng Qiguang%陸培祥
여본해%Li Yuhua%대능리%Zheng Qiguang%륙배상
激光技术%衍射光栅%飞秒激光%LiNbO3晶体
激光技術%衍射光柵%飛秒激光%LiNbO3晶體
격광기술%연사광책%비초격광%LiNbO3정체
利用脉冲宽度为50 fs,中心波长为800 nm,重复频率为1000 Hz的乜秒激光脉冲在LiNbO3晶体上烧蚀表面衍射光栅,采用632.8 nm的He-Ne激光测量不同光栅的衍射效率.在激光脉冲能量和光栅常数相同的情况下,烧蚀速率由20 μm/s增大到200 μm/s时,所加工光栅的1级衍射效率从1.7%增大到2.3%;如果光栅常数和烧蚀速率不变,将激光脉冲能量由70 nJ增大到110 nJ,所加工光栅的1级衍射效率从1.9%减小到1.3%;随着光栅常数的增大,在LiNbO3晶体上烧蚀光栅的各级衍射效率也随之增加.对实验结果进行理论分析表明,可以通过提高烧蚀速率、降低激光脉冲能最和增大光栅常数来提高飞秒激光加工光栅的衍射效率.
利用脈遲寬度為50 fs,中心波長為800 nm,重複頻率為1000 Hz的乜秒激光脈遲在LiNbO3晶體上燒蝕錶麵衍射光柵,採用632.8 nm的He-Ne激光測量不同光柵的衍射效率.在激光脈遲能量和光柵常數相同的情況下,燒蝕速率由20 μm/s增大到200 μm/s時,所加工光柵的1級衍射效率從1.7%增大到2.3%;如果光柵常數和燒蝕速率不變,將激光脈遲能量由70 nJ增大到110 nJ,所加工光柵的1級衍射效率從1.9%減小到1.3%;隨著光柵常數的增大,在LiNbO3晶體上燒蝕光柵的各級衍射效率也隨之增加.對實驗結果進行理論分析錶明,可以通過提高燒蝕速率、降低激光脈遲能最和增大光柵常數來提高飛秒激光加工光柵的衍射效率.
이용맥충관도위50 fs,중심파장위800 nm,중복빈솔위1000 Hz적먀초격광맥충재LiNbO3정체상소식표면연사광책,채용632.8 nm적He-Ne격광측량불동광책적연사효솔.재격광맥충능량화광책상수상동적정황하,소식속솔유20 μm/s증대도200 μm/s시,소가공광책적1급연사효솔종1.7%증대도2.3%;여과광책상수화소식속솔불변,장격광맥충능량유70 nJ증대도110 nJ,소가공광책적1급연사효솔종1.9%감소도1.3%;수착광책상수적증대,재LiNbO3정체상소식광책적각급연사효솔야수지증가.대실험결과진행이론분석표명,가이통과제고소식속솔、강저격광맥충능최화증대광책상수래제고비초격광가공광책적연사효솔.
