真空
真空
진공
VACUUM
2005年
5期
29-31
,共3页
黄天斌%陈旭%金奇计%查良镇
黃天斌%陳旭%金奇計%查良鎮
황천빈%진욱%금기계%사량진
辉光放电清洗%质谱分析%表面出气
輝光放電清洗%質譜分析%錶麵齣氣
휘광방전청세%질보분석%표면출기
在辉光放电清洗的实验研究中, 应用质谱技术进行了出气分析,应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估.实验结果表明,质谱技术能准确地分析表面吸附气体的分压强,氦离子的轰击可去除以及置换出样品中的气体,氮气、氧气和油蒸气在辉光放电清洗后的出气量下降,有利于超高真空的获得和维持.
在輝光放電清洗的實驗研究中, 應用質譜技術進行瞭齣氣分析,應用其結果對射頻輝光放電清洗的效果進行評估.實驗結果錶明,質譜技術能準確地分析錶麵吸附氣體的分壓彊,氦離子的轟擊可去除以及置換齣樣品中的氣體,氮氣、氧氣和油蒸氣在輝光放電清洗後的齣氣量下降,有利于超高真空的穫得和維持.
재휘광방전청세적실험연구중, 응용질보기술진행료출기분석,응용기결과대사빈휘광방전청세적효과진행평고.실험결과표명,질보기술능준학지분석표면흡부기체적분압강,양리자적굉격가거제이급치환출양품중적기체,담기、양기화유증기재휘광방전청세후적출기량하강,유리우초고진공적획득화유지.
