功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2007年
6期
609-614
,共6页
锆钛酸铅(PZT)%压电薄膜%微开关%多孔硅
鋯鈦痠鉛(PZT)%壓電薄膜%微開關%多孔硅
고태산연(PZT)%압전박막%미개관%다공규
对硅基锆钛酸铅(PZT)压电薄膜微开关进行了结构和版图设计,根据MEMS加工工艺和标准硅基IC工艺的特点,获得了硅基PZT压电薄膜微悬臂梁结构系统工艺流程中的关键工艺技术和典型工艺条件,对多孔硅的选择性生长进行了较为详细的实验研究,最后成功的制备出硅基PZT压电薄膜微开关样品,这对集成化芯片系统的进一步发展打下了必要的良好的实验基础.
對硅基鋯鈦痠鉛(PZT)壓電薄膜微開關進行瞭結構和版圖設計,根據MEMS加工工藝和標準硅基IC工藝的特點,穫得瞭硅基PZT壓電薄膜微懸臂樑結構繫統工藝流程中的關鍵工藝技術和典型工藝條件,對多孔硅的選擇性生長進行瞭較為詳細的實驗研究,最後成功的製備齣硅基PZT壓電薄膜微開關樣品,這對集成化芯片繫統的進一步髮展打下瞭必要的良好的實驗基礎.
대규기고태산연(PZT)압전박막미개관진행료결구화판도설계,근거MEMS가공공예화표준규기IC공예적특점,획득료규기PZT압전박막미현비량결구계통공예류정중적관건공예기술화전형공예조건,대다공규적선택성생장진행료교위상세적실험연구,최후성공적제비출규기PZT압전박막미개관양품,저대집성화심편계통적진일보발전타하료필요적량호적실험기출.
