光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
7期
1253-1257
,共5页
张凤田%唐祯安%余隽%汪家奇
張鳳田%唐禎安%餘雋%汪傢奇
장봉전%당정안%여준%왕가기
微热板%电阻真空传感器%恒温
微熱闆%電阻真空傳感器%恆溫
미열판%전조진공전감기%항온
研究了微热板的传热特性,从理论上分析了恒温模式下工作温度和结构尺寸对微热板电阻真空传感器工作特性的影响.设计了一种边长为93 μm、四臂支撑的方形微热板结构的电阻真空传感器,支撑桥长65 μm、宽21 μm,微热板与衬底之间的气隙高度为0.5 μm;采用表面微机械加工技术成功实现了该传感器的加工.用恒温电路进行测试的结果显示,该微热板真空传感器气压测量范围约2～105 Pa,且响应特性与理论计算结果相符.
研究瞭微熱闆的傳熱特性,從理論上分析瞭恆溫模式下工作溫度和結構呎吋對微熱闆電阻真空傳感器工作特性的影響.設計瞭一種邊長為93 μm、四臂支撐的方形微熱闆結構的電阻真空傳感器,支撐橋長65 μm、寬21 μm,微熱闆與襯底之間的氣隙高度為0.5 μm;採用錶麵微機械加工技術成功實現瞭該傳感器的加工.用恆溫電路進行測試的結果顯示,該微熱闆真空傳感器氣壓測量範圍約2～105 Pa,且響應特性與理論計算結果相符.
연구료미열판적전열특성,종이론상분석료항온모식하공작온도화결구척촌대미열판전조진공전감기공작특성적영향.설계료일충변장위93 μm、사비지탱적방형미열판결구적전조진공전감기,지탱교장65 μm、관21 μm,미열판여츤저지간적기극고도위0.5 μm;채용표면미궤계가공기술성공실현료해전감기적가공.용항온전로진행측시적결과현시,해미열판진공전감기기압측량범위약2～105 Pa,차향응특성여이론계산결과상부.
