华南师范大学学报（自然科学版）
華南師範大學學報（自然科學版）
화남사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTH CHINA NORMAL UNIVERSITY （NATURAL SCIENCE EDITION）
2008年
3期
66-70
,共5页
杨春林%陈俊芳%符斯列%史磊%张洪宾%黄孟祥%赖秀琼
楊春林%陳俊芳%符斯列%史磊%張洪賓%黃孟祥%賴秀瓊
양춘림%진준방%부사렬%사뢰%장홍빈%황맹상%뢰수경
Langmuir探针%等离子体密度%发射光谱%Hα
Langmuir探針%等離子體密度%髮射光譜%Hα
Langmuir탐침%등리자체밀도%발사광보%Hα
在微波等离子化学气相沉积装置中,分析了反应室内等离子密度空间分布以及等离子密度与气压和功率的关系,还分析了Hα(656.3 nm)的峰值强度与气压和功率的关系,得到了微波放电氢等离子体内部的基本特性.
在微波等離子化學氣相沉積裝置中,分析瞭反應室內等離子密度空間分佈以及等離子密度與氣壓和功率的關繫,還分析瞭Hα(656.3 nm)的峰值彊度與氣壓和功率的關繫,得到瞭微波放電氫等離子體內部的基本特性.
재미파등리자화학기상침적장치중,분석료반응실내등리자밀도공간분포이급등리자밀도여기압화공솔적관계,환분석료Hα(656.3 nm)적봉치강도여기압화공솔적관계,득도료미파방전경등리자체내부적기본특성.
