无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2008年
5期
907-911
,共5页
陈玉%成永红%王增彬%周稼斌%阴玮%吴锴
陳玉%成永紅%王增彬%週稼斌%陰瑋%吳鍇
진옥%성영홍%왕증빈%주가빈%음위%오개
环氧基片%钛副族%氧化物薄膜%纳秒脉冲%真空闪络
環氧基片%鈦副族%氧化物薄膜%納秒脈遲%真空閃絡
배양기편%태부족%양화물박막%납초맥충%진공섬락
在绝缘材料表面制备半导电性及高导热系数的涂层可以明显提高材料的沿面闪络性能.采用高真空反应磁控溅射方法,在环氧基片表面溅射TiO2、ZrO2,HfO2薄膜,使用快脉冲真空闪络实验装置(50ns/600ns,前沿和半高宽时间),在真空度5×10-3Pa时,研究了上述三种氧化物薄膜的真空闪络特性.实验发现,TiO2和ZrO2薄膜以无定形态存在,表面颗粒未晶化,而HfO2薄膜已经晶化. TiO2薄膜的闪络电压最高,HfO2薄膜较低.TiO2和HfO2随着溅射时间的增加,镀膜的真空闪络电压有所提高,而ZrO2随着溅射时间的增加,镀膜的真空闪络电压有所下降.结合ANSOFT静电场仿真数据,分析了薄膜的基本特性对闪络后表面电位分布及闪络电压的影响机制.
在絕緣材料錶麵製備半導電性及高導熱繫數的塗層可以明顯提高材料的沿麵閃絡性能.採用高真空反應磁控濺射方法,在環氧基片錶麵濺射TiO2、ZrO2,HfO2薄膜,使用快脈遲真空閃絡實驗裝置(50ns/600ns,前沿和半高寬時間),在真空度5×10-3Pa時,研究瞭上述三種氧化物薄膜的真空閃絡特性.實驗髮現,TiO2和ZrO2薄膜以無定形態存在,錶麵顆粒未晶化,而HfO2薄膜已經晶化. TiO2薄膜的閃絡電壓最高,HfO2薄膜較低.TiO2和HfO2隨著濺射時間的增加,鍍膜的真空閃絡電壓有所提高,而ZrO2隨著濺射時間的增加,鍍膜的真空閃絡電壓有所下降.結閤ANSOFT靜電場倣真數據,分析瞭薄膜的基本特性對閃絡後錶麵電位分佈及閃絡電壓的影響機製.
재절연재료표면제비반도전성급고도열계수적도층가이명현제고재료적연면섬락성능.채용고진공반응자공천사방법,재배양기편표면천사TiO2、ZrO2,HfO2박막,사용쾌맥충진공섬락실험장치(50ns/600ns,전연화반고관시간),재진공도5×10-3Pa시,연구료상술삼충양화물박막적진공섬락특성.실험발현,TiO2화ZrO2박막이무정형태존재,표면과립미정화,이HfO2박막이경정화. TiO2박막적섬락전압최고,HfO2박막교저.TiO2화HfO2수착천사시간적증가,도막적진공섬락전압유소제고,이ZrO2수착천사시간적증가,도막적진공섬락전압유소하강.결합ANSOFT정전장방진수거,분석료박막적기본특성대섬락후표면전위분포급섬락전압적영향궤제.
