光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
8期
1743-1749
,共7页
光学系统%全反射无焦ZH系统%装调%光轴同轴
光學繫統%全反射無焦ZH繫統%裝調%光軸同軸
광학계통%전반사무초ZH계통%장조%광축동축
介绍了一种新颖的共轴全反射式无焦光学系统—ZH系统的装调技术.该系统由两块相对放置的抛物面反射镜和一块45°放置的双面反射镜组成,其两抛物面反射镜可分别从两端安装,从而使双向平面反射镜易于装配.对ZH系统进行了误差分析和装调分析,讨论了元件位置失调带来的系统像差的变化,给出了ZH系统的误差分析结果.由于光线经过ZH系统和分束镜后,光轴在水平方向和垂直方向有平移,平移后的出射光轴与入射光轴的平行需要精确的装调技术来保证.给出了ZH系统的装调方法,采用可见光平行光管进行辅助装调,采用水平偏移补偿镜和垂直偏移补偿镜对ZH系统出射光轴的偏移量进行补偿,利用测微组件和测微目镜对装调中平晶、反射镜的调节量进行测量,实现了ZH系统出射光轴与入射光轴的同轴.装调完成后,去掉水平偏移补偿镜和垂直偏移补偿镜,实现了ZH系统光轴的空间平行.
介紹瞭一種新穎的共軸全反射式無焦光學繫統—ZH繫統的裝調技術.該繫統由兩塊相對放置的拋物麵反射鏡和一塊45°放置的雙麵反射鏡組成,其兩拋物麵反射鏡可分彆從兩耑安裝,從而使雙嚮平麵反射鏡易于裝配.對ZH繫統進行瞭誤差分析和裝調分析,討論瞭元件位置失調帶來的繫統像差的變化,給齣瞭ZH繫統的誤差分析結果.由于光線經過ZH繫統和分束鏡後,光軸在水平方嚮和垂直方嚮有平移,平移後的齣射光軸與入射光軸的平行需要精確的裝調技術來保證.給齣瞭ZH繫統的裝調方法,採用可見光平行光管進行輔助裝調,採用水平偏移補償鏡和垂直偏移補償鏡對ZH繫統齣射光軸的偏移量進行補償,利用測微組件和測微目鏡對裝調中平晶、反射鏡的調節量進行測量,實現瞭ZH繫統齣射光軸與入射光軸的同軸.裝調完成後,去掉水平偏移補償鏡和垂直偏移補償鏡,實現瞭ZH繫統光軸的空間平行.
개소료일충신영적공축전반사식무초광학계통—ZH계통적장조기술.해계통유량괴상대방치적포물면반사경화일괴45°방치적쌍면반사경조성,기량포물면반사경가분별종량단안장,종이사쌍향평면반사경역우장배.대ZH계통진행료오차분석화장조분석,토론료원건위치실조대래적계통상차적변화,급출료ZH계통적오차분석결과.유우광선경과ZH계통화분속경후,광축재수평방향화수직방향유평이,평이후적출사광축여입사광축적평행수요정학적장조기술래보증.급출료ZH계통적장조방법,채용가견광평행광관진행보조장조,채용수평편이보상경화수직편이보상경대ZH계통출사광축적편이량진행보상,이용측미조건화측미목경대장조중평정、반사경적조절량진행측량,실현료ZH계통출사광축여입사광축적동축.장조완성후,거도수평편이보상경화수직편이보상경,실현료ZH계통광축적공간평행.
