图形化蓝宝石衬底GaN基LED的研究进展
도형화람보석츤저GaN기LED적연구진전
Research progress of Patterned Sapphire Substrate for GaN-Based Light-Emitting Diodes
  • 万方数据
    半导体技术 반도체기술
    SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
    2012年 6期 417-424 ,共8页

    周仕忠%林志霆%王海燕%李国强

    주사충%림지정%왕해연%리국강

    蓝宝石%图形化衬底%发光二极管(LED)%GaN%制备工艺 藍寶石%圖形化襯底%髮光二極管(LED)%GaN%製備工藝
    람보석%도형화츤저%발광이겁관(LED)%GaN%제비공예
    蓝宝石衬底作为发光二极管最常用的衬底,经过不断发展,在克服其与GaN间晶格失配和热膨胀失配问题上,研究人员不断提出解决方案.近期发展起来的图形化衬底技术,除了能减少生长在蓝宝石衬底上GaN之间的差排缺陷,提高磊晶质量以解决失配问题,更能提高LED的出光效率.从衬底图形的形状、尺寸、制备工艺出发,回顾了图形化蓝宝石衬底GaN基LED的研究进展,详细介绍了近年来关于图形化衬底技术与其他技术在提高LED性能方面的结合,总结了图形化蓝宝石衬底应用于大尺寸芯片的优势,并对其未来在大功率照明市场的应用进行了展望.
    람보석츤저작위발광이겁관최상용적츤저,경과불단발전,재극복기여GaN간정격실배화열팽창실배문제상,연구인원불단제출해결방안.근기발전기래적도형화츤저기술,제료능감소생장재람보석츤저상GaN지간적차배결함,제고뢰정질량이해결실배문제,경능제고LED적출광효솔.종츤저도형적형상、척촌、제비공예출발,회고료도형화람보석츤저GaN기LED적연구진전,상세개소료근년래관우도형화츤저기술여기타기술재제고LED성능방면적결합,총결료도형화람보석츤저응용우대척촌심편적우세,병대기미래재대공솔조명시장적응용진행료전망.
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