微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2001年
4期
61-64
,共4页
徐峥谊%熊斌%王跃林%戈肖鸿
徐崢誼%熊斌%王躍林%戈肖鴻
서쟁의%웅빈%왕약림%과초홍
微机电系统%红外热堆%正面腐蚀%各相异性腐蚀
微機電繫統%紅外熱堆%正麵腐蝕%各相異性腐蝕
미궤전계통%홍외열퇴%정면부식%각상이성부식
阐述了微机械制造工艺制作红外热堆探测器的方法,其采用新的正面湿法腐蚀的方法释放体硅,获得悬梁结构的红外热堆探测器.该探测器用LPCVD(低压化学气相沉积)氮化硅膜,与热氧化得到的氧化硅膜形成三明治结构作为热偶对的支撑结构;热偶材料采用多晶硅与金属.实验结果表明这是一种很有前景的制作方法.
闡述瞭微機械製造工藝製作紅外熱堆探測器的方法,其採用新的正麵濕法腐蝕的方法釋放體硅,穫得懸樑結構的紅外熱堆探測器.該探測器用LPCVD(低壓化學氣相沉積)氮化硅膜,與熱氧化得到的氧化硅膜形成三明治結構作為熱偶對的支撐結構;熱偶材料採用多晶硅與金屬.實驗結果錶明這是一種很有前景的製作方法.
천술료미궤계제조공예제작홍외열퇴탐측기적방법,기채용신적정면습법부식적방법석방체규,획득현량결구적홍외열퇴탐측기.해탐측기용LPCVD(저압화학기상침적)담화규막,여열양화득도적양화규막형성삼명치결구작위열우대적지탱결구;열우재료채용다정규여금속.실험결과표명저시일충흔유전경적제작방법.
