现代电子技术
現代電子技術
현대전자기술
MODERN ELECTRONICS TECHNIQUE
2004年
9期
70-73
,共4页
静电放电%ESD模型%电流%CMOS
靜電放電%ESD模型%電流%CMOS
정전방전%ESD모형%전류%CMOS
随着超大规模集成电路工艺的高速发展,特征尺寸越来越小,而静电放电(Electrostatic Discharge)对器件可靠性的危害变得越来越显著.因此,静电放电测试已经成为对器件可靠性评估的一个重要项目.介绍了ESD的4种等效模型:人体、机器、器件充电和场感应模型,以及各模型的特点和等效测试电路.同时较详细的介绍了ESD的测试方式和方法.
隨著超大規模集成電路工藝的高速髮展,特徵呎吋越來越小,而靜電放電(Electrostatic Discharge)對器件可靠性的危害變得越來越顯著.因此,靜電放電測試已經成為對器件可靠性評估的一箇重要項目.介紹瞭ESD的4種等效模型:人體、機器、器件充電和場感應模型,以及各模型的特點和等效測試電路.同時較詳細的介紹瞭ESD的測試方式和方法.
수착초대규모집성전로공예적고속발전,특정척촌월래월소,이정전방전(Electrostatic Discharge)대기건가고성적위해변득월래월현저.인차,정전방전측시이경성위대기건가고성평고적일개중요항목.개소료ESD적4충등효모형:인체、궤기、기건충전화장감응모형,이급각모형적특점화등효측시전로.동시교상세적개소료ESD적측시방식화방법.
