航空制造技术
航空製造技術
항공제조기술
AERONAUTICAL MANUFACTURING TECHNOLOGY
2004年
z1期
259-265
,共7页
汤宝寅%甘孔银%于永澔%王浪平%王小峰%刘洪喜%王松雁
湯寶寅%甘孔銀%于永澔%王浪平%王小峰%劉洪喜%王鬆雁
탕보인%감공은%우영호%왕랑평%왕소봉%류홍희%왕송안
保形全方位离子注入%高压脉冲调制器上升沿
保形全方位離子註入%高壓脈遲調製器上升沿
보형전방위리자주입%고압맥충조제기상승연
本课题建立了两种物理模型来描述理想脉冲情况下等离子体中的电子运动,并建立了电子运动方程.在无限长平面靶情况下首次得到了电子运动方程的解析解,提出了理想上升沿判据.通过对保形全方位离子注入的处理工艺参数的研究,获得了各个工艺参数之间的定标关系.研究结果表明,在相同的注入脉冲宽度情况下,增加等离子体密度和离子质量都能够获得更均匀的注入分布.注入波形的上升沿对注入离子能量分布造成的影响完全可以通过提高等离子体的密度和改变离子质量来消除.因此在设计调制器时追求过陡的上升沿意义不大,从技术难度和成本效益比上看,上升沿在1～2μs之间即可满足全方位离子注入过程对电源的要求.
本課題建立瞭兩種物理模型來描述理想脈遲情況下等離子體中的電子運動,併建立瞭電子運動方程.在無限長平麵靶情況下首次得到瞭電子運動方程的解析解,提齣瞭理想上升沿判據.通過對保形全方位離子註入的處理工藝參數的研究,穫得瞭各箇工藝參數之間的定標關繫.研究結果錶明,在相同的註入脈遲寬度情況下,增加等離子體密度和離子質量都能夠穫得更均勻的註入分佈.註入波形的上升沿對註入離子能量分佈造成的影響完全可以通過提高等離子體的密度和改變離子質量來消除.因此在設計調製器時追求過陡的上升沿意義不大,從技術難度和成本效益比上看,上升沿在1～2μs之間即可滿足全方位離子註入過程對電源的要求.
본과제건립료량충물리모형래묘술이상맥충정황하등리자체중적전자운동,병건립료전자운동방정.재무한장평면파정황하수차득도료전자운동방정적해석해,제출료이상상승연판거.통과대보형전방위리자주입적처리공예삼수적연구,획득료각개공예삼수지간적정표관계.연구결과표명,재상동적주입맥충관도정황하,증가등리자체밀도화리자질량도능구획득경균균적주입분포.주입파형적상승연대주입리자능량분포조성적영향완전가이통과제고등리자체적밀도화개변리자질량래소제.인차재설계조제기시추구과두적상승연의의불대,종기술난도화성본효익비상간,상승연재1～2μs지간즉가만족전방위리자주입과정대전원적요구.
