基于 DMD 的步进式无掩模数字曝光方法及装置
기우 DMD 적보진식무엄모수자폭광방법급장치
The method and equipment of maskless step digital lithography based on DMD
  • 万方数据
    电子工业专用设备 전자공업전용설비
    EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
    2008年 10期 14-19 ,共6页

    严伟%胡松%唐小萍%赵立新%杨勇%蒋文波%周绍林%陈旺富

    엄위%호송%당소평%조립신%양용%장문파%주소림%진왕부

    数字微镜阵列%无掩模光刻%照明 數字微鏡陣列%無掩模光刻%照明
    수자미경진렬%무엄모광각%조명
    随着器件特征尺寸的继续缩小,所需掩模的成本呈直线上升态势,为降低掩模成本,无掩模光刻技术成为人们研究的热点.介绍了一种基于DMD的步进式无掩模数字曝光方法,并对用于实现该曝光方法装置的设计方案和具体实现进行了论述与分析.最后利用厚的光刻胶进行曝光工艺实验,实验结果表明,本装置可以实现亚微米级线条的刻蚀,较高的侧壁陡度,线条拼接结果良好,可以实现大面积数字式曝光.
    수착기건특정척촌적계속축소,소수엄모적성본정직선상승태세,위강저엄모성본,무엄모광각기술성위인문연구적열점.개소료일충기우DMD적보진식무엄모수자폭광방법,병대용우실현해폭광방법장치적설계방안화구체실현진행료논술여분석.최후이용후적광각효진행폭광공예실험,실험결과표명,본장치가이실현아미미급선조적각식,교고적측벽두도,선조병접결과량호,가이실현대면적수자식폭광.
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