红外
紅外
홍외
INFRARED
2009年
5期
8-13
,共6页
范茂彦%姜胜林%谢甜甜%张光祖%张丽芳
範茂彥%薑勝林%謝甜甜%張光祖%張麗芳
범무언%강성림%사첨첨%장광조%장려방
非致冷%红外%掺杂钛酸锶钡%厚膜%焦平面探测器
非緻冷%紅外%摻雜鈦痠鍶鋇%厚膜%焦平麵探測器
비치랭%홍외%참잡태산송패%후막%초평면탐측기
本文报道一种32×48元高灵敏非致冷混合式焦平面探测器厚膜阵列.提出了一种采用掺杂钛酸锶钡厚膜作为敏感材料的硅基微机械加工电容式红外探测器像元结构,对其工作原理、器件性能优化设计与制作工艺流程进行了分析,得出了优化的结构参数.分析了影响器件性能的关键因素,给出了器件所用铁电材料的基本物理和电学特性参数以及器件的热隔离技术和相应参数.本结构的像元电容值增量接近相同敏感面的体材料红外探测器,减小了像元与衬底电极引线的寄生电容.采用这种结构的红外探测器阵列对电路的精度要求低,便于研制集成电路.该红外探测器阵列结构的设计思路,符合大阵列红外焦平面像元结构设计的发展趋势,为开展非致冷红外焦平面阵列探测器研究奠定了基础.
本文報道一種32×48元高靈敏非緻冷混閤式焦平麵探測器厚膜陣列.提齣瞭一種採用摻雜鈦痠鍶鋇厚膜作為敏感材料的硅基微機械加工電容式紅外探測器像元結構,對其工作原理、器件性能優化設計與製作工藝流程進行瞭分析,得齣瞭優化的結構參數.分析瞭影響器件性能的關鍵因素,給齣瞭器件所用鐵電材料的基本物理和電學特性參數以及器件的熱隔離技術和相應參數.本結構的像元電容值增量接近相同敏感麵的體材料紅外探測器,減小瞭像元與襯底電極引線的寄生電容.採用這種結構的紅外探測器陣列對電路的精度要求低,便于研製集成電路.該紅外探測器陣列結構的設計思路,符閤大陣列紅外焦平麵像元結構設計的髮展趨勢,為開展非緻冷紅外焦平麵陣列探測器研究奠定瞭基礎.
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