CAJ | 학술논문

介绍了基于Sol纳米光栅耦合器的理论研究及测试方法,系统研究了光栅参数对光栅耦合效率的影响,在占空比为1:1的基础上,对不同光栅槽深作了相应的理论分析,同时,还对不同角度的入射光作了相应的研究,经过仿真在入射角为10°时,对于波长为l 550 nm的入射光其耦合效率最高.除此之外,通过在光栅表面添加增透膜使其耦合效率在理论上提高至76％以上,并实验验证了增透膜可以有效的降低输入光场的端面反射及波导表面散射,增强了输出光效率.采用聚焦离子束方法(FIB)在10 μm宽的硅波导上加工了纳米光栅结构,利用单模NewFocus可调谐激光器(1 520～1 570 nm)作为激发光源,对单模光纤与硅波导光栅进行垂直耦合,得到l dB带宽近似为30 nm,耦合效率约为32％.
개소료기우Sol납미광책우합기적이론연구급측시방법,계통연구료광책삼수대광책우합효솔적영향,재점공비위1:1적기출상,대불동광책조심작료상응적이론분석,동시,환대불동각도적입사광작료상응적연구,경과방진재입사각위10°시,대우파장위l 550 nm적입사광기우합효솔최고.제차지외,통과재광책표면첨가증투막사기우합효솔재이론상제고지76％이상,병실험험증료증투막가이유효적강저수입광장적단면반사급파도표면산사,증강료수출광효솔.채용취초리자속방법(FIB)재10 μm관적규파도상가공료납미광책결구,이용단모NewFocus가조해격광기(1 520～1 570 nm)작위격발광원,대단모광섬여규파도광책진행수직우합,득도l dB대관근사위30 nm,우합효솔약위32％.