东南大学学报(自然科学版)
東南大學學報(自然科學版)
동남대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF SOUTHEAST UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2002年
1期
86-89
,共4页
姚正军%沈星%王少刚%刘德浚
姚正軍%瀋星%王少剛%劉德浚
요정군%침성%왕소강%류덕준
离子镀%Ti(CN)%组织结构%制备%性能
離子鍍%Ti(CN)%組織結構%製備%性能
리자도%Ti(CN)%조직결구%제비%성능
为研究多元Ti(CN) 膜层,用空心阴极离子镀方法,通入不同比例C2H2和N2反应气体,以研究反应气体流量变化对膜层性能的影响,筛选出C2H2与N2的最佳比例,确定镀膜的最佳工艺参数,并对最佳工艺条件下的膜层进行了硬度和膜基结合力等的测试,用X衍射仪、电镜、金相显微镜等对膜层的微观组织结构进行了分析.结果表明:镀膜工艺可行,膜层性能优异,膜基结合好,为以后多元膜层的推广使用提供了实验和理论依据.
為研究多元Ti(CN) 膜層,用空心陰極離子鍍方法,通入不同比例C2H2和N2反應氣體,以研究反應氣體流量變化對膜層性能的影響,篩選齣C2H2與N2的最佳比例,確定鍍膜的最佳工藝參數,併對最佳工藝條件下的膜層進行瞭硬度和膜基結閤力等的測試,用X衍射儀、電鏡、金相顯微鏡等對膜層的微觀組織結構進行瞭分析.結果錶明:鍍膜工藝可行,膜層性能優異,膜基結閤好,為以後多元膜層的推廣使用提供瞭實驗和理論依據.
위연구다원Ti(CN) 막층,용공심음겁리자도방법,통입불동비례C2H2화N2반응기체,이연구반응기체류량변화대막층성능적영향,사선출C2H2여N2적최가비례,학정도막적최가공예삼수,병대최가공예조건하적막층진행료경도화막기결합력등적측시,용X연사의、전경、금상현미경등대막층적미관조직결구진행료분석.결과표명:도막공예가행,막층성능우이,막기결합호,위이후다원막층적추엄사용제공료실험화이론의거.
