CAJ | 학술논문

应用于啁啾脉冲放大技术中的脉宽压缩光栅是基于多层膜作为基底,利用全息干涉技术和离子束技术刻蚀而成.脉宽压缩光栅的衍射效率和抗激光损伤阈值一方面依赖于光栅结构的设计,另一方面很大程度上取决于作为基底的多层膜的设计.给出了以413.1 nm作为写入波长,1053 nm作为使用波长的多层介质光栅膜的设计,样品在ZZS-800F型真空镀膜机上采用电子束蒸发方式沉积而成,并给出了膜系结构对光学性能影响因素的详细分析,结果表明膜系H3L(H2L)9H0.5L2.03H满足光栅膜的指标.给出了样品光学特性测试,其使用波长处的透射率＜0.5%,写入波长处的透射率＞90%,测试表明样品满足设计要求且实验结果和理论设计符合得很好.
응용우조추맥충방대기술중적맥관압축광책시기우다층막작위기저,이용전식간섭기술화리자속기술각식이성.맥관압축광책적연사효솔화항격광손상역치일방면의뢰우광책결구적설계,령일방면흔대정도상취결우작위기저적다층막적설계.급출료이413.1 nm작위사입파장,1053 nm작위사용파장적다층개질광책막적설계,양품재ZZS-800F형진공도막궤상채용전자속증발방식침적이성,병급출료막계결구대광학성능영향인소적상세분석,결과표명막계H3L(H2L)9H0.5L2.03H만족광책막적지표.급출료양품광학특성측시,기사용파장처적투사솔＜0.5%,사입파장처적투사솔＞90%,측시표명양품만족설계요구차실험결과화이론설계부합득흔호.