光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2005年
z1期
65-68
,共4页
李玉和%李庆祥%王东生%葛杨翔%廖小华
李玉和%李慶祥%王東生%葛楊翔%廖小華
리옥화%리경상%왕동생%갈양상%료소화
微探头%柔性铰链%压电双晶片%激光干涉
微探頭%柔性鉸鏈%壓電雙晶片%激光榦涉
미탐두%유성교련%압전쌍정편%격광간섭
电子产品高度集成化与高性能化发展,对超精表面及亚表面无损伤性要求越来越高.为实现纳米尺度分辨率、大视场表面损伤检测,利用原子力微悬臂探针设计了一种新型超精表面缺陷探测系统,采用柔性机构进行微悬臂探针俯仰与倾斜度微调,利用压电双晶片实现接触、非接触以及轻敲3种不同探测模式.系统特性实验表明:该探测系统位移分辨率可达2 nm,共振频率90 Hz,满足超精表面缺陷检测系统性能要求.
電子產品高度集成化與高性能化髮展,對超精錶麵及亞錶麵無損傷性要求越來越高.為實現納米呎度分辨率、大視場錶麵損傷檢測,利用原子力微懸臂探針設計瞭一種新型超精錶麵缺陷探測繫統,採用柔性機構進行微懸臂探針俯仰與傾斜度微調,利用壓電雙晶片實現接觸、非接觸以及輕敲3種不同探測模式.繫統特性實驗錶明:該探測繫統位移分辨率可達2 nm,共振頻率90 Hz,滿足超精錶麵缺陷檢測繫統性能要求.
전자산품고도집성화여고성능화발전,대초정표면급아표면무손상성요구월래월고.위실현납미척도분변솔、대시장표면손상검측,이용원자력미현비탐침설계료일충신형초정표면결함탐측계통,채용유성궤구진행미현비탐침부앙여경사도미조,이용압전쌍정편실현접촉、비접촉이급경고3충불동탐측모식.계통특성실험표명:해탐측계통위이분변솔가체2 nm,공진빈솔90 Hz,만족초정표면결함검측계통성능요구.
