仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2006年
5期
1-2,5
,共3页
周业成%陈吉安%张晓晶%邱显涛
週業成%陳吉安%張曉晶%邱顯濤
주업성%진길안%장효정%구현도
MEMS%光强调制%光纤氢传感器
MEMS%光彊調製%光纖氫傳感器
MEMS%광강조제%광섬경전감기
现有的氢传感器都是根据钯膜吸氢而产生膨胀的这个特点设计而成,但这些传感器基本上都存在着结构复杂、价格高、市场化比较困难、配套设备昂贵等特点.介绍一种基于MEMS工艺的光强调制型光纤传感器,说明该传感器的工作原理,并且给出了相关的制作工艺流程,最后对其测试性能进行了必要的探讨.证明了此类传感器不仅具有低成本、结构简单、适宜于批量生产等优点,而且在一定的测氢范围内具有相当良好的灵敏度和稳定性.
現有的氫傳感器都是根據鈀膜吸氫而產生膨脹的這箇特點設計而成,但這些傳感器基本上都存在著結構複雜、價格高、市場化比較睏難、配套設備昂貴等特點.介紹一種基于MEMS工藝的光彊調製型光纖傳感器,說明該傳感器的工作原理,併且給齣瞭相關的製作工藝流程,最後對其測試性能進行瞭必要的探討.證明瞭此類傳感器不僅具有低成本、結構簡單、適宜于批量生產等優點,而且在一定的測氫範圍內具有相噹良好的靈敏度和穩定性.
현유적경전감기도시근거파막흡경이산생팽창적저개특점설계이성,단저사전감기기본상도존재착결구복잡、개격고、시장화비교곤난、배투설비앙귀등특점.개소일충기우MEMS공예적광강조제형광섬전감기,설명해전감기적공작원리,병차급출료상관적제작공예류정,최후대기측시성능진행료필요적탐토.증명료차류전감기불부구유저성본、결구간단、괄의우비량생산등우점,이차재일정적측경범위내구유상당량호적령민도화은정성.
