材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2007年
4期
144-146,154
,共4页
WOx%薄膜%电致变色%掺杂%磁控溅射
WOx%薄膜%電緻變色%摻雜%磁控濺射
WOx%박막%전치변색%참잡%자공천사
采用反应磁控溅射工艺分别制备掺杂Ti、Mo、Ni、V的WOx薄膜,研究了掺杂对其电致变色性能的影响机理.实验结果表明,适量的掺杂可以提高薄膜的电致变色性能,Mo的掺杂可以调节光谱吸收范围,Ni、V的掺杂可以提高记忆存储能力,Ti的掺杂可以延长循环寿命;磁控溅射制备的掺杂WOx薄膜均为非晶态.
採用反應磁控濺射工藝分彆製備摻雜Ti、Mo、Ni、V的WOx薄膜,研究瞭摻雜對其電緻變色性能的影響機理.實驗結果錶明,適量的摻雜可以提高薄膜的電緻變色性能,Mo的摻雜可以調節光譜吸收範圍,Ni、V的摻雜可以提高記憶存儲能力,Ti的摻雜可以延長循環壽命;磁控濺射製備的摻雜WOx薄膜均為非晶態.
채용반응자공천사공예분별제비참잡Ti、Mo、Ni、V적WOx박막,연구료참잡대기전치변색성능적영향궤리.실험결과표명,괄량적참잡가이제고박막적전치변색성능,Mo적참잡가이조절광보흡수범위,Ni、V적참잡가이제고기억존저능력,Ti적참잡가이연장순배수명;자공천사제비적참잡WOx박막균위비정태.
