光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2007年
6期
1092-1096
,共5页
吴师岗%张红鹰%夏志林%田光磊%邵建达%范正修
吳師崗%張紅鷹%夏誌林%田光磊%邵建達%範正脩
오사강%장홍응%하지림%전광뢰%소건체%범정수
YSZ薄膜%Y2O3含量%结构%光性
YSZ薄膜%Y2O3含量%結構%光性
YSZ박막%Y2O3함량%결구%광성
用电子束蒸发法制备出四种不同Y2O3含量的Y2O3稳定ZrO2(YSZ)薄膜,用X射线衍射和透射光谱测定薄膜的结构和光学性能.结果表明:随着Y2O3含量的增加,ZrO2薄膜从单斜相向高温相(四方相和立方相)转变,获得了结构稳定的YSZ薄膜;YSZ薄膜的晶粒尺寸都比ZrO2薄膜的大,但随着Y2O3加入量的增加,晶粒尺寸有减小的趋势,薄膜表面也趋向光滑平整.所有YSZ薄膜的透射谱线都与ZrO2薄膜相似,在可见光和红外光区都有较高的透过率.Y2O3的加入还可以改变薄膜的折射率,在一定范围内可得到所需的任意折射率.
用電子束蒸髮法製備齣四種不同Y2O3含量的Y2O3穩定ZrO2(YSZ)薄膜,用X射線衍射和透射光譜測定薄膜的結構和光學性能.結果錶明:隨著Y2O3含量的增加,ZrO2薄膜從單斜相嚮高溫相(四方相和立方相)轉變,穫得瞭結構穩定的YSZ薄膜;YSZ薄膜的晶粒呎吋都比ZrO2薄膜的大,但隨著Y2O3加入量的增加,晶粒呎吋有減小的趨勢,薄膜錶麵也趨嚮光滑平整.所有YSZ薄膜的透射譜線都與ZrO2薄膜相似,在可見光和紅外光區都有較高的透過率.Y2O3的加入還可以改變薄膜的摺射率,在一定範圍內可得到所需的任意摺射率.
용전자속증발법제비출사충불동Y2O3함량적Y2O3은정ZrO2(YSZ)박막,용X사선연사화투사광보측정박막적결구화광학성능.결과표명:수착Y2O3함량적증가,ZrO2박막종단사상향고온상(사방상화립방상)전변,획득료결구은정적YSZ박막;YSZ박막적정립척촌도비ZrO2박막적대,단수착Y2O3가입량적증가,정립척촌유감소적추세,박막표면야추향광활평정.소유YSZ박막적투사보선도여ZrO2박막상사,재가견광화홍외광구도유교고적투과솔.Y2O3적가입환가이개변박막적절사솔,재일정범위내가득도소수적임의절사솔.
