功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
8期
1322-1325
,共4页
王锡铭%张俊英%丛亮%王天民
王錫銘%張俊英%叢亮%王天民
왕석명%장준영%총량%왕천민
TiO2薄膜%厚度%灵敏度%气敏性能
TiO2薄膜%厚度%靈敏度%氣敏性能
TiO2박막%후도%령민도%기민성능
采用浸渍提拉法工艺在印制有金电极的Al2O3基片上制备了TiO2薄膜,并对不同厚度及工作温度下TiO2薄膜的气敏性能作了研究.结果显示,当TiO2气敏薄膜的工作温度一定时,存在一个最佳厚度,在该厚度下TiO2薄膜对H2具有最佳的气敏响应;当TiO2薄膜的厚度一定时,TiO2薄膜存在一个最佳工作温度,在该温度下TiO2薄膜对H2的气敏响应最为灵敏.XPS测试表明,TiO2薄膜经过H2氛围后,薄膜中吸附氧含量降低.利用TiO2薄膜表面吸附氧与H2的反应、薄膜对H2的吸附与脱附理论、电子的迁移等过程较为合理地解释了TiO2薄膜对H2的气敏响应.
採用浸漬提拉法工藝在印製有金電極的Al2O3基片上製備瞭TiO2薄膜,併對不同厚度及工作溫度下TiO2薄膜的氣敏性能作瞭研究.結果顯示,噹TiO2氣敏薄膜的工作溫度一定時,存在一箇最佳厚度,在該厚度下TiO2薄膜對H2具有最佳的氣敏響應;噹TiO2薄膜的厚度一定時,TiO2薄膜存在一箇最佳工作溫度,在該溫度下TiO2薄膜對H2的氣敏響應最為靈敏.XPS測試錶明,TiO2薄膜經過H2氛圍後,薄膜中吸附氧含量降低.利用TiO2薄膜錶麵吸附氧與H2的反應、薄膜對H2的吸附與脫附理論、電子的遷移等過程較為閤理地解釋瞭TiO2薄膜對H2的氣敏響應.
채용침지제랍법공예재인제유금전겁적Al2O3기편상제비료TiO2박막,병대불동후도급공작온도하TiO2박막적기민성능작료연구.결과현시,당TiO2기민박막적공작온도일정시,존재일개최가후도,재해후도하TiO2박막대H2구유최가적기민향응;당TiO2박막적후도일정시,TiO2박막존재일개최가공작온도,재해온도하TiO2박막대H2적기민향응최위령민.XPS측시표명,TiO2박막경과H2분위후,박막중흡부양함량강저.이용TiO2박막표면흡부양여H2적반응、박막대H2적흡부여탈부이론、전자적천이등과정교위합리지해석료TiO2박막대H2적기민향응.
