山西师范大学学报（自然科学版）
山西師範大學學報（自然科學版）
산서사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANXI TEACHER'S UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
4期
76-79
,共4页
磁控溅射%稀磁半导体%退火%磁性
磁控濺射%稀磁半導體%退火%磁性
자공천사%희자반도체%퇴화%자성
室温下采用磁控溅射的方法在Al2O3(0001)基片上制备了不同Co含量掺杂的ZnO稀磁半导体薄膜Zn1-xCoxO(x=3%,6%,8%),并进行了500℃的后期真空退火处理.采用 X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见分光光度计(UV-vis)和振动样品磁强计(VSM)研究了薄膜的结构、光学和磁学性能.结果表明,磁控溅射制备的ZnCoO薄膜中,Co 2+离子占据了ZnO中Zn2+离子的位置,但没有改变ZnO的纤锌矿晶体结构,也没有第二杂质相的出现.退火前后薄膜均显示室温铁磁性且磁性大小随Co含量的变化呈相反趋势.磁性大小与晶面间距有一定的关系,分析后认为磁性机制符合束缚磁极子(BMP)模型.
室溫下採用磁控濺射的方法在Al2O3(0001)基片上製備瞭不同Co含量摻雜的ZnO稀磁半導體薄膜Zn1-xCoxO(x=3%,6%,8%),併進行瞭500℃的後期真空退火處理.採用 X射線衍射儀(XRD)、紫外-可見分光光度計(UV-vis)和振動樣品磁彊計(VSM)研究瞭薄膜的結構、光學和磁學性能.結果錶明,磁控濺射製備的ZnCoO薄膜中,Co 2+離子佔據瞭ZnO中Zn2+離子的位置,但沒有改變ZnO的纖鋅礦晶體結構,也沒有第二雜質相的齣現.退火前後薄膜均顯示室溫鐵磁性且磁性大小隨Co含量的變化呈相反趨勢.磁性大小與晶麵間距有一定的關繫,分析後認為磁性機製符閤束縳磁極子(BMP)模型.
실온하채용자공천사적방법재Al2O3(0001)기편상제비료불동Co함량참잡적ZnO희자반도체박막Zn1-xCoxO(x=3%,6%,8%),병진행료500℃적후기진공퇴화처리.채용 X사선연사의(XRD)、자외-가견분광광도계(UV-vis)화진동양품자강계(VSM)연구료박막적결구、광학화자학성능.결과표명,자공천사제비적ZnCoO박막중,Co 2+리자점거료ZnO중Zn2+리자적위치,단몰유개변ZnO적섬자광정체결구,야몰유제이잡질상적출현.퇴화전후박막균현시실온철자성차자성대소수Co함량적변화정상반추세.자성대소여정면간거유일정적관계,분석후인위자성궤제부합속박자겁자(BMP)모형.
